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紫外線TOC純水處理技術助力半導體產業“芯”發展

廣明源 ? 來源:廣明源 ? 2023-08-02 15:01 ? 次閱讀
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電子行業是國民經濟發展的支柱性產業,包括半導體光學光電子、元件、電子制造以及其他電子等五大細分行業。其中,電子級超純水(Ultrapure water,UPW)是電子行業的關鍵生產要素,廣泛應用于半導體芯片和光學光電子液晶面板的制備過程,如產品清洗、藥劑稀釋、光刻系統和冷卻等環節,并且使用量較大。

據統計,2019年我國半導體芯片對超純水的需求量達到了2.2億m3,相當于一個擁有200萬人口的城市的年用水量。且隨著電子行業的快速發展,電子行業對電子級超純水的需求將持續增長,對水質的要求也將逐漸提高。為此,提升電子級超純水的制備能力和技術工藝將成為我國電子行業高質量發展的重要支撐。

01

什么是超純水?

超純水是經過深度純化的水,除去水中所有礦物質、顆粒、細菌、微生物和溶解的氣體。在芯片制造中也被稱為去離子水(DI Water),但實際上超純水和去離子水的標準并不完全相同,超純水是具有更高純度標準的去離子水。

02

超純水制備的過程

超純水的制備過程通常分為,預處理、主處理和精化處理三個階段。在每個階段中,水體經過一系列技術處理,對其中的各種雜質進行去除,從而使水質逐步被提升到預設的純度標準。

特別在精化處理階段,根據生產制造過程中對水質的特定要求,超純水處理設備通常會進行脫氣、微濾、超濾以及紫外線照射等技術處理,從而進一步提高水質的純度。在超純水精化的步驟中,紫外線照射作為一個關鍵的技術環節,它對水中的總有機碳(TOC)降解有著至關重要的作用。

03

紫外線TOC純水處理技術

TOC即總有機碳(Total Organic Carbon),水中的有機物質的含量,以有機物中的主要元素碳的量來表示稱為總有機碳。一般是用來衡量水體受有機污染的程度。

紫外線TOC純水處理技術主要是利用短波長紫外線激發水分子產生強氧化能力的自由基,在水中將有機物氧化為CO?和H?O分子,從而實現高效的TOC降解和消耗。

04

廣明源紫外線TOC純水處理解決方案

作為專業的紫外線產品制造商和解決方案提供商,廣明源的雙波長(185nm+254nm)紫外線光氧化解決方案已廣泛應用于水凈化系統,滿足不同領域純水制備的特殊需求。該技術的核心原理是先利用254nm的紫外線光對水體進行殺菌處理,然后通過185nm的紫外線照射水體,將H?O分解成氫氧自由基(OH.)和氫自由基。這些氫氧自由基再去氧化水體中的碳氫化合物,轉化為二氧化碳和水,從而將水中的總有機碳(TOC)降解至ppb級別。

此外,為了進一步滿足超純水制備的嚴格要求,廣明源還提供了先進技術水平的無汞紫外技術——172nm準分子燈純水處理技術。這項創新技術通過輻射更高能量的172nm紫外光,實現更高效、更快速的TOC降解,以滿足電子行業對超純水質量的更高要求。

產品特點

無二次污染,更環保;

高能光子,產生羥基自由基 (HO*);

品質穩定,交期可靠,產能大;

可定制的燈設計,應用靈活;

獲得更低TOC;

占用空間小,模塊化設計,易于維護。

應用范圍

1

用于超純水生產中的TOC去除

2

飲用水中微污染物處理

3

農藥殘留物分解

4

紡織染料廢水的光催化脫色

5

高純度臭氧生成

03

廣明源光科技簡介

廣明源始創于1998年,專注于光科技應用的研發與制造。公司擁有專業的研發團隊,被認定為國家“高新技術企業”和“博士后科研工作站”、廣東省“企業技術中心”以及廣東省“專精特新中小企業”。

廣明源通過專業光源部件以及先進技術解決方案為感控消殺、醫療健康、高端制造、環保凈化、畜牧養殖、設施農業等領域提供專業的產品及服務。

我們期待與合作伙伴一起“以光科技賦能美好生活”。不斷提升客戶體驗,為客戶創造價值,實現社會價值與商業價值共贏。

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原文標題:廣明源光科技 | 紫外線TOC純水處理技術助力半導體產業“芯”發展

文章出處:【微信號:gmyokwx,微信公眾號:廣明源】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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