白光干涉儀利用白光干涉原理，通過測量光的相位變化來獲取物體表面的形貌信息。在工業制造、科學研究等領域，被廣泛用于測量精密器件的形貌、表面缺陷檢測等方面。

白光干涉儀通過對干涉條紋進行圖像處理，可以獲得二維形貌圖，顯示出被測物體表面的高低起伏。其測量精度主要受到光柵常數、光斑大小、光源穩定性等因素的影響。一般光柵常數越大，測量精度越高，但對儀器的要求也更高；光斑大小越小，測量精度越高，但對物體表面的要求也更高；光源的穩定性對測量結果的影響也不能忽視。

工作原理

基于干涉現象，當白光通過一個光柵或衍射光柵后，會被分成不同顏色的光束，形成一系列相位不同的光波。這些光波經過反射或透射后再次匯聚在一起。當兩束光波的相位差為整數倍的波長時，它們會發生干涉，形成明暗相間的干涉條紋。通過測量這些干涉條紋的信息，就可以推導出被測物體表面的形貌。

測量操作步驟

在使用白光干涉儀測量二維形貌之前，需要進行一些準備工作。
1、確保干涉儀的光源穩定，光路清晰，并校準儀器。校準包括調整儀器的工作距離、傾斜角度等參數，以確保測量結果的準確性。
2、需要選擇適當的測量參數，包括光柵常數、光斑大小等，以滿足具體測量需求。
3、在進行測量時，需要將被測物體放置在白光干涉儀的測量臺上，并保持穩定。通過調整儀器的焦距和位置等參數，使物體表面的光斑清晰可見。
4、啟動儀器的測量程序，記錄下干涉條紋的圖像或數據。

SuperViewW1白光干涉儀測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

測量案例