什么是臭氧去離子水工藝
臭氧-去離子水 (O3 -DI) 工藝可以集成到臭氧 (O3) 具有工藝優勢的各種水性應用中。
溶解在水中的臭氧也可用作 HCl 過氧化物混合物中過氧化氫的替代品，從而降低所用化學品的成本，同時將氧化電位轉移到更高的氧化值。CFM 的 O3 -DI 的其他應用包括 HF 后處理，其中 O3 -DI 在氧化硅再生長中充當氧化劑。由于其高氧化電位，接觸臭氧可能對工廠人員和設備造成危害。因此，在完全包含化學物質并消除接觸的系統中使用 O3 -DI 非常重要。
臭氧的高氧化還原電勢導致快速轉化回氧氣，使其成為其他化學過程的環保替代品。DI-O3 系統具有用戶可控和可配置的溶解臭氧濃度和流速，可滿足廣泛應用的特定要求。
應用
臭氧化模塊是一種經濟高效的解決方案，適用于領先的工藝臭氧水應用和微電子行業的臭氧清潔工藝，例如：
1、硅片清洗生產
2、邏輯和存儲器制造
3、LED/OLED/QOLED (LTPS) 平板顯示器清洗及生產
4、光罩
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