近日，虹科與Primelite正式建立合作伙伴關系，虹科將共同與Primelite開發中國市場，為客戶提供高功率點固化光源和大基板紫外曝光光源產品，為紫外固化、半導體制造和加工、高功率紫外應用等行業帶來新的光源解決方案。

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關于Primelite

Primelite GmbH成立于2016年，由經驗豐富的工程師和管理人員組成。在2016年底的SEMICON Japan貿易展上展示了第一個多功能光纖耦合高功率UV-LED光源ALE 1的原型，2017年初開始批量生產。

Primelite通過先進的UV-LED曝光解決方案擴展了產品組合，將標準輸出性能帶到半導體行業的掩模對準器和晶圓步進器中，提供先進的UVLED點光源和曝光光源解決方案，用于汽車、國防、電子、醫療、光學和半導體行業。

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優勢技術

高功率輸出

與普通產品不同，Primelite紫外光源產品具有集成“UV-LED，電源設備和冷卻設備”的結構，可實現“多個高輸出UV-LED”，實現業界最高水平的高輸出。它可以很容易地集成到系統中，因為它不需要外部冷卻以及更換紫外線燈

照射范圍可變

Primelite點光源產品是光導輸出，因此可以通過“改變鏡頭和工作距離”自由改變照射范圍。

除了支持表面光發射外，還可以收集光線并將高功率光照射到大基板區域，該區域被均勻地照亮。

多波長設置

Primelite可配備多個UV-LED，每個 LED 具有不同的波長。UV-LED可以單獨打開/關閉和輸出控制，根據應用實現波長和輸出控制。在某些情況下，通過執行適當的波長和輸出控制提高了自動化生產線的吞吐量并縮短了UV固化的處理時間。

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產品及解決方案

ALE 1點光源

ALE/1是代替以往的放電燈的高輸出、高穩定的LED光源裝置，最多可內置5種LED，可輸出或定制多個波長（365nm，385nm，405nm，435nm），最高可達到30W輸出。LED模塊易于更換，可靈活應對應用程序更改，易于集成到新的和現有設置中，是適應未來需求且具備顯著所有權成本優勢的無汞光源。
虹科ALE/1 UVLED光源可適用于半導體制造、質量保證和檢查（NDT），在汽車、電子、光電子、制藥和生命科學領域具有廣泛的應用市場。

ALE 3 點光源

虹科ALE/3光源是代替以往水銀燈的高輸出LED紫外線光源裝置，可內置2種LED，可選擇單光譜設置（365、385、405或435nm）和多光譜設置（365和405nm），高達15 W光輸出，是粘合劑硬化及半導體晶片的周邊曝光等應用中有效光源方案，是適應未來需求且具備顯著所有權成本優勢的無汞光源。

虹科ALE/3 UVLED光源是替代汞燈的完美解決方案，適用于半導體制造、質量保證和檢查（NDT），在汽車、電子、光電子、制藥和生命科學領域具有廣泛的應用市場。

ALE 1C 曝光光源

虹科ALE/1C曝光光源系統是一種超高功率LED輻照系統，寬帶輸出可達到50W。該光源包含兩個系統來使用：控制系統（CSS）和曝光系統（ESS），將控制系統和光源系統一分為二，提供高功率和緊湊性，易于集成到機器中。曝光系統可與光導管、導光板等各種光學元件結合使用。
虹科ALE/1C紫外光源系統可適用于4〃、6〃和8〃晶圓的掩模對準器、1X晶圓步進器和微型步進器以及任何高均勻精度曝光場景

ALE 2曝光光源

虹科ALE/2紫外光源系統是高輸出、高穩定的LED紫外線光源裝置，輸出功率最高可至80W。ALE/2紫外光源最多可內置4種LED，可輸出多個波長（365 nm / 385 nm / 405 nm / 435 nm），并且可配置搭載多個相同波長的模塊，實現高強度i線或g線輸出。
虹科ALE/2 紫外光源系統可適用于8寸和12寸曝光機、先進封裝投影***、晶圓邊緣曝光、光掩模檢查、質量保證和檢查（NDT），在汽車、電子、光電子、制藥和生命科學領域具有廣泛的應用市場。