粗糙度、臺階高度是白光干涉儀最擅長的測量工作。

小優博士也重點說明過在此類測量應用的優勢。

白光干涉的超高精度，會讓很多評估者無從下手。

怎么驗證一臺白光干涉儀的高度測量能力？

小優博士給您支招。

非常簡單！

只需準備“SiC硅片” 和 “標準臺階塊”

15分鐘驗證3大參數即可！

a、RMS重復性

b、臺階重復性、臺階準度

c、掃描量程、掃描速度

一、RMS重復性

RMS重復性：ISO 25178 標準下，測量兩次SiC表面粗糙度Sq；

取Sq/√2 的差值，或30取1σ的平均偏差。

（圖1 SiC晶圓）

二、臺階重復性、準度

臺階重復性：測量標準臺階高度的重復偏差；

一般測量30次，取1σ的極值偏差/平均值。

臺階準度：測量值相對標準值的偏差；

一般測量30次，取1σ的標準偏差/標準值。

（圖2 標準臺階塊）

三、掃描量程、速度

硬件“壓電陶瓷“直接決定了量程和速度；

驗證方法:實測樣品確定量程，使用秒表計算時間。

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普通實驗室環境下

小優博士使用優可測Atometrics白光干涉儀ER-230進行實驗。

↓ ↓

（圖3 對SiC標準片進行30次粗糙度Sq，取1σ的標準偏差）

RMS重復性0.005nm

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（圖4 對12μm馬爾標準塊進行30次高度測量）

取1σ的極值偏差/平均值，臺階高度重復性0.07%

取1σ的平均值/標準值，臺階高度準確性0.3%

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（圖5 對接近5000μm的產品進行掃描）

高度 4815μm

（圖5 記錄掃描時間）

掃描速度400μm/s

15分鐘驗證完畢，此技巧你掌握了么