通過前兩期文章，

相信大家已初步了解白光干涉儀原理和優(yōu)勢。

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那白光干涉儀能做什么？

今天小優(yōu)博士帶大家了解白光干涉儀的幾個經(jīng)典用途。

一、超精細(xì)粗糙度測量

（例1）玻璃鏡片 0.05nm 粗糙度測量 · 優(yōu)可測白光干涉儀 NA-500拍攝

二、臺階高度

（例2）掩模版臺階高度測量· 優(yōu)可測 白光干涉儀 EX-230 拍攝

三、形貌觀察&測量

（例3-1）菲涅爾膜形貌測量· 優(yōu)可測 白光干涉儀 EX230 拍攝

（例3-2）金屬表面研磨后形貌觀察&測量 · 優(yōu)可測 白光干涉儀 EX230 拍攝

四、不同條件下實驗形貌比對&測量

（例4）化工材料不同濃度液滴后形貌分析· 優(yōu)可測 白光干涉儀 ER230 拍攝

五、“快速掃描”特性可配合機械手、

集成自動化設(shè)備進(jìn)行在線測量