SuperViewW1白光干涉儀分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量要求高的領域中，可以說只有白光干涉儀才能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。

對所測樣品的尺寸，SuperViewW1白光干涉儀載物臺XY的行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍最大可達10mm，但由于白光干涉儀單次測量區域比較小（以10X鏡頭為例，在1mm左右），因而在測量大尺寸的樣品時，全檢的方式需要進行拼接測量，檢測效率會比較低，建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區域進行抽點檢測，以單點或多點反映整個面的粗糙度參數。

可以測到12mm的尺寸，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標準行程為140*110mm，局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。