SuperViewW1光學輪廓儀以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。

粗糙度分析操作步驟：
1.將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態穩定；
2.將夾具放置在載物臺上；
3.檢查電機連接和環境噪聲，確認儀器狀態；
4.使用操縱桿調節三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；
5.完成掃描設置和命名等操作；
6.點擊開始測量（進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會）；
7.進入數據處理界面，點擊“去除外形”，采用默認參數，點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓；
8.進入分析工具模塊，點擊參數分析，直接獲取面粗糙度數據，點擊右側參數標準可更換參數標準，增刪參數類型；
9.如果想獲取線粗糙度數據，則需提取剖面線；
10.進入數據處理界面，點擊“提取剖面”圖標，選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提取；
11.進入分析工具界面，點擊“參數分析”圖標，點擊右側參數標準，勾選所需線粗糙度相關參數，即可獲取線粗糙度Ra數據。

光學輪廓儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。