矢量網絡分析儀的誤差來源主要有以下三個方面：漂移誤差、隨機誤差、系統誤差
1、漂移誤差：是由于進行校準之后儀器或測試系統性能發生變化所引起，主要由溫度變化造成。
2、隨機誤差：是不可預測的且不能通過校準予以消除，主要隨時間隨機變化。然而，有若干可以將其對測量精度的影響減至最小的方法。
隨機誤差的三個主要來源：
<1>儀器噪聲誤差：是分析儀元件中產生的不希望的電擾動。這些擾動包括由于接收機的寬帶本底噪聲引起的低電平噪聲；由于測試裝置內部本振源的本底噪聲和相位噪聲引起的高電平噪聲或跡線數據抖動。
<2>開關重復性誤差：分析儀中使用了用來轉換源衰減器設置的機械射頻開關，有時機械射頻開關動作時，觸點的閉合不同于其上次動作的閉合。在分析儀你內部出現這種情況時，便會嚴重影響測量的精度。
<3>連接器重復性誤差：是由于連接器的磨損會改變電性能。

3、系統誤差：
系統誤差是由矢量網絡分析儀和測試裝置中的不完善性所引起，是重復誤差（因而可以預測），且假定不隨時間變化。系統誤差中的各項誤差都是矢量，一旦其矢量特征（幅度和相位）已知，這些誤差可以通過數學運算從原始的測量中減去。利用校準件可以達到減小誤差的目的。
<1>反射測量產生下列三項系統誤差：方向性、源匹配、頻率響應反射跟蹤。
<2>傳輸測量產生下列三項系統誤差：隔離、負載匹配、頻率響應傳輸跟蹤。