如果把芯片比作一幅平面雕刻作品，那么光刻機是打草稿的畫筆；刻蝕機則是雕刻刀；沉積的薄膜則是用來雕刻的材料。光刻的精度直接決定了元器件刻畫的尺寸，而刻蝕和薄膜沉積的精度則決定了光刻的尺寸能否實際加工，因此光刻、刻蝕和薄膜沉積設備是芯片加工過程中最重要的三類主設備，占前道設備的近 70%。

近些年來我國已經開始在各類設備中開展追趕式研發，在技術難度最高的這些主設備中，刻蝕機走在國產替代的最前列。今天，小明就來分享一下，半導體刻蝕設備上的傳感器應用方案。

載體ID管理

智能讀碼器 RCD-AI100-S

通過將 FOUP 料盒上粘貼的通用條碼標簽在加載端上自動讀取，可以簡單地實現點對點精確管理，并且可以降低成本，算法強大，可同時讀取多個條碼。

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檢測上端晶片有無

光纖傳感器 PG1+PT-32-DQ

檢測最上方晶片是否存在，以判斷是否滿料，在狹小的工位結構中，需要選擇纖細的光纖以便于安裝，對射式原理使得檢測的穩定性更佳，搭配PG1放大器，可進行13us的超高速檢測。

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控制化學品液位高度

液位傳感器 CE30-26NO

當槽管內存在氣泡時，使用光學傳感器可能會造成誤判，因此可采用專用于管道液位檢測的電容式接近傳感器，即使管道內產生氣泡亦可穩定檢測，且不受液體的顏色和密度影響，非接觸式檢測也讓傳感器不必考慮化學品與傳感器發生反應。

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目標定位和距離測量

激光位移傳感器 MLD23-100N

此工位上需要實時精確測量每一片晶片高度，明治的這款激光位移傳感器有著65-135mm的大量程檢測距離，滿足實時監測晶片的任意位置，精度達到0.01mm，軟件功能輕松示教，提高了調試的便捷性。

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明治傳感器是一家專注于工業級光電傳感器和深度學習技術的創新企業，主要聚焦在高精度定位、深度學習、精密測量、以及避障安全方案，為3C電子、新能源、半導體制程、醫療電子和服務機器人行業提供精密智能和AI傳感技術。

明治傳感器核心團隊匯聚了一批業界資深科學家和工程師，由扎根工業傳感領域20年的專家帶隊，擁有核心專利超過120項，超過20項發明專利。明治產品迭代速度快，每年在世界各地安裝的傳感器總數逾6,000,000只，在AI4.0時代用創新傳感技術向用戶提供精密智能和AI傳感的產品，助力全球用戶在工業4.0時代成為智慧工業和萬物互聯的行業領先者。