全自動精密劃片機工作原理

全自動精密劃片機是精密切割專用設備，切割前通常為外徑為6到12英寸的薄圓形片，根據用戶的不同需求切割成不同尺寸的晶粒。砂輪切割工藝又稱劃片或劃切，是以強力磨削為手段，通過空氣靜壓支撐的電主軸帶動超薄金剛石刀片以高速旋轉，用刀片上的微細磨粒與被加工物進行接觸，使劃切處的材料產生碎裂，同時，承載著工件的工作臺以一定的速度沿著刀片與工件接觸方向進行直線運動，然后在刀具自身轉動下以及切割水作用下將劃切產生的切屑帶出，最終實現工件分離或者開槽。

如圖1所示為全自動精密劃片機劃切原理圖。

通常劃片機劃切工件為圓形或方形的硬、脆和薄的材料，如硅晶圓、藍寶石基片、LED基片等。在軟件系統控制下，通過伺服電機驅動X、Y、Z三個方向的往復運動以及0軸向的轉動，按照預設尺寸將工件分離。

如圖2所示為晶圓劃切示意圖。

陸芯LX6366型雙軸晶圓切割機為12英寸全自動精密劃片機，全自動劃片機是從裝片、位置校準、切割、清洗/干燥，到卸片為止的一系列工序，全部自動化操作。劃片機的切割機理是強力磨削，強力磨削的執行單元-空氣靜壓電主軸單元，完成自動上、下料的晶圓傳輸定位系統，自動對準系統和自動清洗系統是全自動劃片機的關鍵。采用高精密進口主要配件，T軸采用DD馬達，重復精度1μm，穩定性極強，兼容6"-12"材料，雙CCD視覺系統，性能達到業界一流水平。