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      10.8.4 表面硅微加工工藝∈《集成電路產業全書》

      深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-05-24 17:00 ? 次閱讀
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      Surface-Si Micromachining Technology

      審稿人：北京大學 王瑋

      審稿人：北京大學 張興 蔡一茂

      https://www.pku.edu.cn

      10.8 集成微系統技術

      第10章 集成電路基礎研究與前沿技術發展

      《集成電路產業全書》下冊

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