激光干涉儀與光刻機的緣分
光刻機是集成電路生產的關鍵設備之一，在整個生產過程中占據重要的地位。高精度的工作臺作為光刻機核心部件之一，其運動性能和定位精度決定了光刻工藝所能實現的線寬和產率。
光刻機的工作臺是一個六自由度的運動臺，其中X/Y向運動臺是的核心基礎工序。管控XY軸角度Yaw和Pitch，直線度Horizontal Straightness和Vertical Straightness是獲得XY線性（重復）精度（Linear Positioning）的關鍵，是后續實現六自由度的控制的基石，是多層曝光對準精度的源頭。
本次利用SJ6000激光干涉儀檢測一臺光刻機XY軸的角擺和直線度，部分結果如下：
Y軸Vertical Straightness測量
X軸Pitch測量
X軸測量軸長225mm，其中垂直直線度測得結果0.58μm。
Y軸測量軸長600mm，測得角度Yaw結果0.86″。
聲明：本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內容侵權或者其他違規問題，請聯系本站處理。
舉報投訴
-
激光干涉儀
+關注
關注
0文章
83瀏覽量
8674
發布評論請先 登錄
相關推薦
熱點推薦
激光干涉儀測量案例：醫療CT滑軌運行精度及旋轉架定位精度檢測
測量需求檢查床CT滑軌運行的定位精度、重復精度、直線度，旋轉架的旋轉精度和旋轉定位精度。激光干涉儀測量方案SJ6000激光干涉儀搭配線性鏡組+角度鏡組+直線度鏡組+WR50自動精密轉臺
發表于 12-24 16:44
?0次下載
電壓放大器：相位調制零差干涉儀性能評價實驗的關鍵驅動力
設備： ATA-2088高壓放大器、納米定位平臺、單頻激光干涉儀、光電探測器、Redpitaya信號處理板等。 實驗過程： 圖1：相位調制零差干涉儀實物圖 相位調制零差干涉儀組裝調試主
白光干涉儀與激光干涉儀的區別及應用解析
在精密測量領域，干涉儀作為基于光的干涉原理實現高精度檢測的儀器，被廣泛應用于工業制造、科研實驗等場景。其中，白光干涉儀與激光干涉儀是兩類具有
改善光刻圖形線寬變化的方法及白光干涉儀在光刻圖形的測量
引言 在半導體制造與微納加工領域，光刻圖形線寬變化直接影響器件性能與集成度。精確控制光刻圖形線寬是保障工藝精度的關鍵。本文將介紹改善光刻圖形線寬變化的方法，并探討白光干涉儀在
改善光刻圖形垂直度的方法及白光干涉儀在光刻圖形的測量
深入探討白光干涉儀在光刻圖形測量中的應用。 改善光刻圖形垂直度的方法 優化光刻膠性能 光刻膠的特性直接影響圖形垂直度。選用高對比度、低膨脹系
減少光刻膠剝離工藝對器件性能影響的方法及白光干涉儀在光刻圖形的測量
干涉儀在光刻圖形測量中的應用。 ? 減少光刻膠剝離工藝對器件性能影響的方法 ? 優化光刻膠材料選擇 ? 選擇與半導體襯底兼容性良好的光刻膠材
光刻膠剝離液及其制備方法及白光干涉儀在光刻圖形的測量
引言 在半導體制造與微納加工領域，光刻膠剝離液是光刻膠剝離環節的核心材料，其性能優劣直接影響光刻膠去除效果與基片質量。同時，精準測量光刻圖形對把控工藝質量意義重大，白光
VirtualLab Fusion：用于光學檢測的斐索干涉儀
摘要
斐索干涉儀是工業上常見的光學計量設備，通常用于高精度測試光學表面的質量。在VirtualLab Fusion中通道配置的幫助下，我們建立了一個Fizeau干涉儀，并將其用于測試不同的光學表面
發表于 05-28 08:48
Micro OLED 陽極像素定義層制備方法及白光干涉儀在光刻圖形的測量
? 引言 ? Micro OLED 作為新型顯示技術，在微型顯示領域極具潛力。其中，陽極像素定義層的制備直接影響器件性能與顯示效果，而光刻圖形的精準測量是確保制備質量的關鍵。白光干涉儀憑借獨特
Aigtek電壓放大器在光纖干涉儀噪聲抑制研究中的應用
實驗名稱： 基于光纖干涉儀的低頻段頻率噪聲抑制研究 實驗內容： 光纖干涉儀作為一種可以精細鑒別激光相位的結構裝置，被廣泛地應用于激光相位噪聲的測試測量工作。運用逆向思維，利用光纖
光學實驗教具應用：邁克爾遜干涉儀實驗
1. 實驗概述
邁克爾遜干涉儀是光學干涉儀中最常見的一種，其原理是一束入射光分為兩束后各自被對應的平面鏡反射回來，這兩束光從而能夠發生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調節
發表于 05-08 08:51
FRED應用：天文光干涉儀
簡介
天文光干涉儀能夠實現恒星和星系的高角分辨率的測量。首次搭建的天文光干涉儀分別由菲索（1868）和邁克爾遜（1890）提出。邁克爾遜恒星干涉儀于1920年成功地測出參宿四的直徑。現如今，恒星
發表于 04-29 08:52
X射線成像系統：Kirkpatrick-Baez鏡和單光柵干涉儀
來說明特殊的X射線成像原理。在本通訊中，我們展示了兩個X射線成像實驗：(1)使用Kirkpatrick-Baez鏡創建納米級X射線成像點；(2)用單光柵干涉儀說明相襯X射線成像原理。
X射線束的掠入射
發表于 03-21 09:22
安泰電壓放大器在相位調制零差干涉儀性能評價實驗中的應用
設備： ATA-2088高壓放大器、納米定位平臺、單頻激光干涉儀、光電探測器、Redpitaya信號處理板等。 實驗過程： 圖1：相位調制零差干涉儀實物圖 相位調制零差干涉儀組裝調試主
激光干涉儀對磁致伸縮位移傳感器的精度校準
激光干涉儀以高精度測量磁致伸縮位移傳感器，通過非接觸式、多點標定和動態測量，確保傳感器精度，適用于精密制造、科研等領域，需注意安裝精度、環境控制和定期校準。
工商網監
評論