MEMS熱式流量傳感器是基于流體傳熱學原理的一類傳感器，利用 MEMS 熱式原理對管路氣體介質進行流量監測。

流量芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成，熱偶堆對稱的分布在加熱電阻的上、下游，加熱電阻和熱偶堆的熱結處于一個隔熱底座上。

當流體靜止時，加熱電阻兩側對稱位置的溫度是相同的，當流體從右向左流動時等溫線向左側傾斜，加熱電阻兩側對稱位置的溫度不再相同，溫差可由置于加熱電阻兩側的熱偶堆測定。由于流體的傳熱只與流體質量和流體的熱容有關，因此傳感器可以直接測出流體質量流量。

煒盛科技的流量傳感器包含F1012、F1013、F1022、F1031/F1031V等型號，采用新一代MEMS傳感器芯片技術，具有很好的精度與重復性。新推出的流量傳感器是針對原有產品的升級開發，采用低壓損設計，廣泛用于各類氣體流量測量。

產品特點

?高靈敏度、高精度、低壓損；

?極低始動流量；

?高測量重復性；

?模塊化設計；

?可用于各類產品定制

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FR03流量傳感器

FR03 型流量傳感器是針對原 F1013 產品升級開發。

FR03H流量傳感器

FR03H 型流量傳感器是針對原 F1012 產品升級開發。

FR03H 技術指標

FR06流量傳感器

FR06 型流量傳感器是針對原 F1022 產品升級開發。

FR06 技術指標

FR20流量傳感器

FR20 型流量傳感器是針對原 F1031V 產品升級開發。

FR20 技術指標

流量傳感器應用領域流量傳感器能夠用來測量無腐蝕，非強酸和強堿的氣體，可用于空氣采樣器、分析儀、呼吸機、麻醉劑、制氧機、檢漏儀、環境監測設備、 粒子計數器、打火機自動調火設備、氣相色譜儀等多種領域。