在晶圓劃切過程中,不僅需要選擇適合的劃片刀,而且要關注加工條件的優化。合適的劃片刀和良好的加工條件,對于獲得滿足工藝要求的切割效果都起著至關重要的作用。
加工條件主要涉及以下兩個方面:
什么是主軸轉速?
刀片固定在精密切割設備主軸上,并以非常高的速度旋轉。主軸轉速通常在每分鐘10,000至60,000轉之間。刀片旋轉速度是影響切割效果的關鍵因素之一。
需要注意的是,在相同轉速下,刀片外徑不同,外圓線速度也是不同的。刀片外徑越大,外圓線速度越大,如下圖所示:
不同的刀片外徑為了獲得相同的外圓線速度,必須調整轉速,以保證切割質量及穩定性。
主軸轉速對刀片壽命的影響
當主軸轉速增加時,刀片的切割能力提高,金剛石的加工負荷減少,從而提高了刀片壽命,同時降低了被切產品正面崩邊產生的風險。另一方面,金剛石加工負荷減少會阻礙刀片自銳,這往往導致被切產品背面崩邊發生率的增加,此時降低主軸轉速,加速刀片自銳,就是減少被切產品背面崩邊發生率的有效措施之一。
主軸轉速對切割品質的影響
不同主軸轉速下的正面和背面崩邊尺寸的變化
不同主軸轉速下的正面崩邊尺寸的變化
不同主軸轉速下的背面崩邊尺寸的變化
相同切割條件下,主軸轉速越高被切產品正面崩邊尺寸越小,背面崩邊尺寸越大。
不同主軸轉速下的正面切割刀痕變化
主軸轉速:44500
主軸轉速:56000
相同切割條件下,主軸轉速越高,刀片蛇形切割的發生概率越高。
為了使被切產品保持良好的正面和背面切割質量表現,并達到預期的使用壽命,需要選擇一個主軸轉速平衡點。
主軸轉速與加工質量的平衡點
由于主軸轉速對正面、背面崩邊尺寸和刀片壽命均有影響,因此有必要根據被切產品、刀片規格和加工質量標準對主軸轉速進行平衡選擇。
主軸轉速與加工質量的平衡點
以上是主軸轉速對切割品質及切割壽命的影響,下期我們將講述進給速度的影響。
西斯特科技
深圳西斯特科技有限公司 (簡稱SST西斯特) ,以“讓一切磨削加工變得容易”為主旨,倡導磨削加工系統方法論,2015年創立于中國深圳,植根于技術創新的精神,屹立于追求夢想、創造價值的企業文化。
基于對客戶現場的深度解讀、創新性的磨具設計和磨削系統方法 論的實際應用,西斯特的磨削理念可服務于航空航天、醫療器械、集成電路、磁性材料、汽車與船舶制造、藍寶石與功能陶瓷等領域的磨削加工,并為半導體制造、消費電子制造、汽車制造等行業提供高端磨具產品。
西斯特科技始終以先進的技術、高性能的產品、優質服務的理念,帶領產業革命,創造無限可能。
西斯特科技
專業切磨鉆拋解決方案提供商
-
劃片機
+關注
關注
0文章
195瀏覽量
11804 -
砂輪
+關注
關注
0文章
10瀏覽量
3800
發布評論請先 登錄
博捷芯3666A雙軸半自動劃片機:國產晶圓切割技術的突破標桿
攻克存儲芯片制造瓶頸:高精度晶圓切割機助力DRAM/NAND產能躍升
基于納米流體強化的切割液性能提升與晶圓 TTV 均勻性控制
選型不迷茫!PCB分板機主軸的正確打開方式
晶圓劃片機主軸轉速對刀片壽命及切割品質的影響
評論