壓電（Piezo）

何謂壓電？

壓電表示壓電元件（PiezoelectricElement、Piezoelectric Device），壓電元件是指通過施加力（壓力）產生電壓（壓電效應），或與之相反，通過施加電壓產生變形（逆壓電效應）的元件。

壓電元件使用具有壓電效應的壓電材料。施力時，（+）正離子、（-）負離子的位置會移動，產生（+）和（-）電荷的偏移（電極化），從而產生電壓。

利用壓電效應的主要用途是傳感器，利用逆壓電效應的主要用途是執行機構。

壓電材料的種類

壓電材料大致分為單晶、陶瓷、薄膜等。

羅姆采用的是使用鋯鈦酸鉛（PZT）的薄膜壓電。
PTZ取自元素符號（PbZrxTi1-xO3）（0<1）的首字母，壓電性能非常強，稱得上是壓電元件的主角。<>

薄膜壓電和塊體壓電

大致將厚度約為幾μm的叫作薄膜壓電（壓電薄膜），幾十μm以上的叫作塊體壓電（厚膜壓電）。
利用薄膜壓電可以實現元件的小型化、集成化、高精度化、低功耗化。

薄膜PZT的成膜方法

生成薄膜PZT的方法有溶膠凝膠法、濺射法、MOCVD法等。