射頻微電子機械系統（RF-MEMS）是一種基于MEMS的射頻無源器件，與傳統的微波器件相比，它具有許多優點，包括提高隔離度、降低功耗、降低成本、尺寸和重量。其中最成功的是RF-MEMS開關。本篇文章納米軟件Namisoft將為大家詳細分享一下射頻MEMS芯片測試解決方案。

該技術可用于智能手機、移動基礎設施、物聯網和國防等領域的各種無線通信應用。它們可用于天線調諧、阻抗匹配、天線波束形成、相移以及為軟件可定義無線電（SDR）開發可調諧濾波器。

RF MEMS是MEMS技術的重要應用領域之一，也是二十世紀九十年代以來MEMS領域的研究熱點。RFMEMS用于射頻和微波頻率電路中的信號處理，是一項將能對現有雷達和通訊中射頻結構產生重大影響的技術。隨著信息時代的來臨，在無線通信領域，特別是在移動通信和衛星通信領域，正迫切需要一些低功耗、超小型化且能與信號處理電路集成的平面結構的新型器件，并希望能覆蓋包括微波、毫米波和亞毫米波在內的寬頻波段。而通訊系統中仍有大量不可或缺的片外分立元件，例如電感、可變電容、濾波器、耦合器、移相器、開關陣列等，成為限制系統尺寸進一步縮小的瓶頸。RF MEMS技術的出現有望解決這個難題。采用RF MEMS技術制造的無源器件能夠直接和有源電路集成在同一芯片內，實現射頻系統的片內高集成，消除由分立元件帶來的寄生損耗，真正做到系統的高內聚，低耦合，能顯著提高系統的性能。

下一代電信系統和智能手機對RF MEMS開關和其他RF MEMS器件的需求在不斷增長。根據半導體市場調研機構Yole Développement的報告，RF MEMS器件市場將大幅增長。Yole指出，由于5G設備中需要有源天線，5G通信的發展將增加對基于MEMS的器件（如RF BAW濾波器）的需求。此外，RF MEMS振蕩器會被用于部署與5G相關的新基站和邊緣計算。

納米軟件Namisoft的RF MEMS芯片自動測試方案

NSAT-1000RF MEMS芯片自動測試系統能夠實現對線纜等無源器件進行自動化測試，測試場景如圖所示。用戶只要錄入測試被測產品的批次號、型號以及編號，便可對產品進行自動測試，并保存測試數據到數據庫，用戶可根據需要查詢測試數據并生成報表。

◆兼容中電41所（思儀）、是德科技（Keysight）、安捷倫(Aglient)、日本安立（Anritsu）、羅德與施瓦茨（R&S）、韓國興倉（Protek）、美國泰克（Tektronix）、創遠和德力等主流網絡分析儀型號；智能匹配儀器型號，操作方便簡單，提高測試效率；

◆自動測量射頻微波無源器件（包括濾波器、功分器、天線、放大器、衰減器、混頻器、耦合器等）的S參數、增益、損耗、阻抗、平坦度、隔離度等指標；

◆自動保存配置信息、測試數據到數據庫中，方便隨時查詢；

◆自動生成測試報告，用戶可根據需要定制報告模板；

◆支持電腦安裝和儀器內部安裝兩種模式，方便用戶選擇；

◆內置多語言支持，針對網絡分析儀系統的中英文不同版本可自動匹配；

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