差動電渦流傳感器測量原理：

差分測量系統是精密測量技術的重大進步。它們提供出色的分辨率、可重復性和歸零精度，用于檢測導電目標相對于一對非接觸式傳感器的對齊/居中位置。

對于差分測量應用，每個通道有兩個精確匹配的傳感器位于目標的相對兩側或兩端。在這種傳感器到目標的關系中，當目標遠離一個傳感器時，它向另一個傳感器移動等量。輸出為差分和雙極。同一電橋的相對腿上的電子匹配傳感器提供了卓越的熱穩定性。

差動電渦流傳感器應用領域：

超高精度宇航應用、中繼鏡片激光定位（RME）、激光反射鏡聚焦平臺定位、半導體圓晶片制造中的超高精確激光聚焦、精確望遠鏡定位、磁懸浮軸定位、低溫（液氮環境測量金屬位移變化）、真空應用（傳感器和KD5100的電子器件都已用在10-6托的真空應用中）……

KD5100及DIT5200系列都是基于差分系統的電渦流傳感器。KD5100納米級差動電渦流傳感器主要特點：

（1）、每通道兩個精確匹配的傳感器使分辨率達到1nm；
（2）、超耐熱，長時間穩定：1.27x10-4mm/月或更好；
（3）、有耐低溫傳感器；
（4）、超高靈敏度，最高到394 mV/μm；
（5）、低功耗：小于2W(±15 Vdc典型情況下)；
（6）、探頭和控制器都可用于低至10-6Torr的真空應用；
（7）、小尺寸：2 x 2.12 x 0.75 英寸厚。

KD5100納米級差動電渦流傳感器參數：

審核編輯 黃昊宇