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從晶圓到芯片,有哪些工藝流程?

lhl545545 ? 來源:百度經驗 站長頭條 今日半 ? 作者:百度經驗 站長頭條 ? 2021-12-30 11:11 ? 次閱讀
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從晶圓到芯片,有哪些工藝流程?晶圓制造工藝流程步驟如下:

1.表面清洗

2.初次氧化

3.CVD

4.涂敷光刻膠

5.用干法氧化法將氮化硅去除

6.去除光刻膠

7.用熱磷酸去除氮化硅層

8.退火處理

9.濕法氧化

10.熱磷酸去除氮化硅

11.表面涂敷光阻

12.光刻和離子刻蝕,定出 PAD 位置

以上就是晶圓制造工藝流程芯片的制造過程,具體大概可以簡稱晶圓處理工序、針測工序和測試工序等幾個步驟,多次重復上述操作之后,芯片的多層結構搭建完畢,全部清除后就可以看到設計好的電路圖案。

在一般情況下,芯片制造的最后的一道程序測試最為復雜,蝕刻完成后,經一般測試合格的產品貼上規格、型號及出廠日期等標識的標簽并加以包裝后即可出廠。

本文綜合整理自百度經驗 站長頭條 今日半導體
審核編輯:彭菁
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