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DB HiTek完成了基于110納米的全局快門和SPAD工藝的研發

MEMS ? 來源:麥姆斯咨詢 ? 作者:麥姆斯咨詢 ? 2021-04-25 11:48 ? 次閱讀
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- 完成了基于110納米的全局快門和SPAD工藝的研發

- 可滿足多種應用,包括汽車和工業機器視覺、增強現實(AR)/虛擬現實(VR)可穿戴設備等

據麥姆斯咨詢報道,近日,DB HiTek公司宣布已研發出基于110納米的全局快門(Global Shutter)和單光子雪崩二極管(Single-Photon Avalanche Diode,SPAD)工藝,并將擴展其圖像傳感器產品系列。

全局快門使得圖像傳感器能夠同時感應所有像素的圖像信息,即使在拍攝快速移動的物體時,也能準確記錄視頻和圖像而不會失真。此外,全局快門還能助力機器視覺高度精確地識別物體形態。近來,全局快門廣泛應用于工業機器視覺,此外還適用于汽車和無人機攝像頭等各種應用。

DB HiTek的全局快門基于110nm背照式(BSI)工藝,并采用了遮光罩(light shield)和導光(light guide)技術,擁有99.99%的全局快門效率(GSE)性能,并且能支持最小至2.8um的多種像素尺寸。

DB HiTek的CMOS圖像傳感器技術路線圖

SPAD是一種光電傳感技術,可以檢測到單光子水平的弱光信號。SPAD能夠識別從傳感器發射光線到物體反射回光線所需的飛行時間(ToF),從而測量出傳感器與物體之間的距離。憑借長距離和高精度優勢,SPAD被積極應用于車載激光雷達(LiDAR)等ToF測距領域,同時也適用于智能手機、AR/VR可穿戴設備、監控攝像頭和工業機器視覺等各種應用。

DB HiTek以110納米前照式(FSI)工藝為基礎,實現了3.8%光子探測概率(@905納米波長)性能,公司還計劃在今年內實現BSI工藝,并完成7%光子探測概率(@905納米波長)的SPAD工藝研發。

為了協助無晶圓廠客戶按時進入市場并提高產品競爭力,DB HiTek將在今年9月提供專門為全局快門和SPAD技術研發的多項目晶圓(Multi Project Wafer,MPW)服務。

關于DB HiTek

DB HiTek前身是Dongbu HiTek(東部高科),是全球領先的專業晶圓代工廠,公司總部位于韓國,在BCDMOS、CMOS圖像傳感器(CIS)、MEMS、MS/RF和SJ MOSFET工藝方面具有競爭優勢。

責任編輯:lq

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原文標題:DB HiTek研發全局快門和SPAD技術,拓展ToF圖像傳感器業務

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