光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造過程中，最具技術(shù)含量的設(shè)備，有著“現(xiàn)代半導(dǎo)體行業(yè)皇冠上的明珠”的美譽(yù)。

目前，僅ASML一家便占據(jù)全球高端光刻機(jī)市場(chǎng)89%的份額，剩余份額則被尼康與佳能所占據(jù)。在中國，我國光刻機(jī)被牢牢卡住了脖子，制約了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

任正非：光刻機(jī)“卡脖子”的事你們別管

中國光刻機(jī)被“卡脖子”的境況令人著急，不過任正非卻警醒眾人，不要一股腦地涌進(jìn)來。

在2020年11月，C9（包括北大、清華、復(fù)旦、哈工大等9大高校的中國首個(gè)頂尖大學(xué)高校聯(lián)盟）高校校長(zhǎng)去華為參觀拜訪時(shí)，任正非稱，大學(xué)不要管當(dāng)前的“卡脖子”，大學(xué)的責(zé)任是“捅破天”。

任正非表示，目前“卡脖子”問題大多為工程科學(xué)、應(yīng)用科學(xué)方面的問題，查閱一些國外論文便能夠做出來，卡不住我們的脖子。

因而，任正非認(rèn)為，大學(xué)應(yīng)該著眼于未來二三十年國家與產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需要，而不是眼前兩三年的問題。否則眼前問題解決后，又會(huì)有新問題出現(xiàn)。

任正非的一番話十分有遠(yuǎn)見，事實(shí)也正在證明，任正非的判斷沒有錯(cuò)，光刻機(jī)卡不住中國的脖子。

國產(chǎn)光刻機(jī)雙喜臨門

近來，中國光刻機(jī)連續(xù)迎來兩大好消息。

大族激光傳來喜訊

大族激光是全球第三、亞洲最大的工業(yè)激光加工設(shè)備生產(chǎn)廠商，擁有200多種工業(yè)激光設(shè)備與智能裝備解決方案，是中國激光設(shè)備最全的企業(yè)。

從2019年開始，大族激光便開始布局光刻機(jī)。鏡頭、激光光源是光刻機(jī)兩大核心部件，因此，大族激光攻克光刻機(jī)技術(shù)，有一定的基礎(chǔ)。

1月14日，大族激光在互動(dòng)平臺(tái)上透露，公司研發(fā)的光刻機(jī)項(xiàng)目分辨率為3-5μm，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)小批量銷售。

不過，大族激光的光刻機(jī)產(chǎn)品并不是用于集成電路制造，而是分立器件、LCD等領(lǐng)域，是較為低端的光刻機(jī)設(shè)備。

雖然如此，大族激光自研光刻機(jī)還是有著，推動(dòng)了光刻機(jī)國產(chǎn)替代的進(jìn)程的重要意義。

芯源微：國產(chǎn)前道涂膠顯影機(jī)誕生

芯源微背靠中科院沈陽自動(dòng)化研究所，從事半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)。目前，青島芯恩、臺(tái)積電、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等，都是芯源微的客戶。

芯源微的光刻工序涂膠顯影設(shè)備，成功打破了海外的壟斷。目前，在集成電路前道晶圓加工環(huán)節(jié)，國產(chǎn)化設(shè)備正逐步實(shí)現(xiàn)小批量替代。

近來，芯源微更是披露，公司前道涂膠顯影機(jī)與國際光刻機(jī)聯(lián)機(jī)的技術(shù)問題已經(jīng)攻克并通過驗(yàn)證，可以與包括ASML、佳能等國際品牌，以及國內(nèi)的上海微電子的光刻機(jī)聯(lián)機(jī)應(yīng)用。

這標(biāo)志著，國產(chǎn)替代化進(jìn)程又前進(jìn)了一步。

沉睡的雄獅已經(jīng)覺醒

以上種種都印證了，中國光刻機(jī)并非沒有打破壟斷的希望。

如今，國產(chǎn)替代化已經(jīng)成為一種大趨勢(shì)，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在加速發(fā)展，在芯片設(shè)計(jì)、半導(dǎo)體材料等領(lǐng)域，我國不斷傳來新的突破。國產(chǎn)芯片實(shí)現(xiàn)自主化，未來可期，沉睡的雄獅已經(jīng)覺醒。

在最難攻克的光刻機(jī)領(lǐng)域，中科院已經(jīng)公開表態(tài)，將集結(jié)全院的力量，攻克光刻機(jī)等“卡脖子”難題。

同時(shí)，上海微電子、華卓精科等光刻機(jī)相關(guān)企業(yè)，也早已默默努力。華為精科已經(jīng)成為全球第二個(gè)，也是唯二掌握高端光刻機(jī)雙工件臺(tái)的企業(yè)。

相信在多方共同努力之下，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將實(shí)現(xiàn)自主可控，不用再依賴進(jìn)口。
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