光刻機(jī)在芯片制造、芯片先進(jìn)封裝、LED制造、下一代顯示屏制造四大方面，都有廣泛的應(yīng)用，是重要的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備。

ASML作為全球領(lǐng)先的光刻機(jī)巨頭，其光刻機(jī)產(chǎn)品受到了英特爾、三星等廠商的爭搶。而中國廠商也爭搶這一行列中。

1月21日，中國珠海-英諾賽科同ASML達(dá)成購買協(xié)議，將成批量購買高產(chǎn)能i-line與KrF光刻機(jī)。

得益于雙工件臺架構(gòu)，與其他廠商產(chǎn)品相比，ASML的i-line與KrF光刻機(jī)擁有最高的性能、最高的生產(chǎn)效率，以及低成本。

在今年第二季度，首批光刻將進(jìn)入英諾賽科。它們將用于制造新進(jìn)的硅基氮化鎵功率器件。

英諾賽科主營第三代半導(dǎo)體硅基氮化鎵的研發(fā)與生產(chǎn)，成功打造硅基氮化鎵全產(chǎn)業(yè)鏈平臺，擁有研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造等實(shí)力。

成立短短幾年的時間，英諾賽科已經(jīng)形成了不錯的競爭實(shí)力。如今，英諾賽科已經(jīng)申請250余項(xiàng)國內(nèi)外核心專利技術(shù)。

在2015年12月，英諾賽科建設(shè)了8英寸硅基氮化鎵研發(fā)生產(chǎn)基地，并實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)，填補(bǔ)了中國8英寸硅基氮化鎵材料與器件的空白，邁出了從0到1的重要一步。

而在2021年3月，蘇州項(xiàng)目一期計(jì)劃正式投產(chǎn)，有望成為全球產(chǎn)能最大的8英寸硅基氮化鎵量產(chǎn)線，年產(chǎn)能可達(dá)78萬片。

如今，英諾賽科大批采購來ASML的光刻機(jī)設(shè)備，將進(jìn)一步提升公司生產(chǎn)效率，增強(qiáng)競爭實(shí)力。

30V-650V硅基氮化鎵功率及射頻器件是英諾賽科的主要產(chǎn)品，英諾賽科是全球唯一兼具低壓與高壓硅基氮化鎵芯片量產(chǎn)能力的企業(yè)。

英諾賽科的低壓30-200V器件用在數(shù)據(jù)中心、自動駕駛激光雷達(dá)等新興產(chǎn)業(yè)中；而高壓650V器件則在汽車、工業(yè)電機(jī)等領(lǐng)域有所發(fā)揮。

如今，小米、浪潮、大疆、華為等，都是英諾賽科的合作廠商。相信在這些廠商的共同努力下，中國硅基氮化鎵產(chǎn)品將進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化。

當(dāng)前，第三代半導(dǎo)體器件正逐漸成為業(yè)界的主流，氮化鎵便是其中代表。這預(yù)示著，英諾賽科未來有著廣闊的發(fā)展空間。

目前英諾賽科雖然在氮化鎵功率器件市場的滲透率，還不足1%，但背靠中國這個全球最大的半導(dǎo)體消費(fèi)市場，在國產(chǎn)替代化加速的大背景下，英諾賽科的未來值得期待。
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