為完善業(yè)務(wù)布局，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中微半導(dǎo)體”）正在加速產(chǎn)業(yè)投資，近日出手投資了兩家半導(dǎo)體設(shè)備廠商。

12月28日，中微半導(dǎo)體發(fā)布公告，公司基于經(jīng)營(yíng)戰(zhàn)略發(fā)展考慮，擬對(duì)睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“上海睿勵(lì)”）進(jìn)行增資。

公告顯示，本次增資，上海睿勵(lì)的投前估值為4.14億元，公司擬以現(xiàn)金方式向上海睿勵(lì)增資1億元，認(rèn)購(gòu)上海睿勵(lì)新增注冊(cè)資本8333.33萬(wàn)元，認(rèn)購(gòu)單價(jià)為1.2元/股（注冊(cè)資本）。本次增資完成后，上海睿勵(lì)注冊(cè)資本增加至4.28億元，公司持有上海睿勵(lì)股權(quán)比例為20.4467%。

公告介紹稱，上海睿勵(lì)成立于2005年6月，致力于集成電路生產(chǎn)前道工藝檢測(cè)領(lǐng)域設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)，主營(yíng)產(chǎn)品為光學(xué)膜厚測(cè)量設(shè)備和光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備以及硅片厚度及翹曲測(cè)量設(shè)備等，是國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家進(jìn)入國(guó)際領(lǐng)先的12英寸生產(chǎn)線的高端裝備企業(yè)之一，并且是國(guó)內(nèi)唯一進(jìn)入某韓國(guó)領(lǐng)先芯片生產(chǎn)企業(yè)的國(guó)產(chǎn)集成電路設(shè)備企業(yè)。

公告進(jìn)一步指出，上海睿勵(lì)自主研發(fā)的12英寸光學(xué)測(cè)量設(shè)備TFX3000系列產(chǎn)品，已應(yīng)用在65/55/40/28納米芯片生產(chǎn)線并在進(jìn)行了14納米工藝驗(yàn)證，在3D存儲(chǔ)芯片產(chǎn)線支持64層3D NAND芯片的生產(chǎn)，并正在驗(yàn)證96層3D NAND芯片的測(cè)量性能。其應(yīng)用于LED藍(lán)寶石襯底圖形檢測(cè)的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，也已成功銷售到眾多國(guó)內(nèi)LED PSS襯底和LED芯片生產(chǎn)線。

上海睿勵(lì)正在開(kāi)發(fā)下一代可支持更高階芯片制程工藝的膜厚和OCD測(cè)量設(shè)備以及應(yīng)用于集成電路芯片生產(chǎn)的缺陷檢測(cè)設(shè)備，進(jìn)一步擴(kuò)大可服務(wù)的市場(chǎng)規(guī)模。

中微半導(dǎo)體在公告中表示，公司在集成電路刻蝕設(shè)備領(lǐng)域的研發(fā)和市場(chǎng)化方面已經(jīng)取得了一定的成果，前期通過(guò)投資國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的薄膜設(shè)備公司沈陽(yáng)拓荊科技有限公司在集成電路薄膜設(shè)備領(lǐng)域進(jìn)行了布局。本次投資上海睿勵(lì)將使公司能夠布局集成電路工藝檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域。

此外，公司同上海睿勵(lì)的客戶和供應(yīng)商有高度重疊，通過(guò)本次投資，能進(jìn)一步形成產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同效應(yīng)。投資上海睿勵(lì)是公司聚焦并落實(shí)高端芯片設(shè)備戰(zhàn)略的又一步驟，系公司為完善業(yè)務(wù)布局而進(jìn)行的投資。

此前，中微半導(dǎo)體曾以500萬(wàn)元的債權(quán)向上海睿勵(lì)出資，認(rèn)購(gòu)上海睿勵(lì)416.67萬(wàn)元新增注冊(cè)資本，持股1.2091%。這次是中微半導(dǎo)體對(duì)上海睿勵(lì)新增投資，交易完成后，中微半導(dǎo)體對(duì)上海睿勵(lì)的持股比例為20.4467%。

除了上海睿勵(lì)外，中微半導(dǎo)體近日還入股了另一家半導(dǎo)體設(shè)備廠商。

企查查資料顯示，2020年12月24日，上海理想萬(wàn)里暉薄膜設(shè)備有限公司（以下簡(jiǎn)稱“理想萬(wàn)里暉”）發(fā)生了股權(quán)變更，原股東之一理想能源設(shè)備（上海）有限公司退出，新增中微半導(dǎo)體、三峽綠色產(chǎn)業(yè)（山東）股權(quán)投資合伙企業(yè)（有限合伙）、上海毅達(dá)鑫業(yè)一號(hào)股權(quán)投資基金合伙企業(yè)（有限合伙）等股東，其注冊(cè)資本從8455.33萬(wàn)元增至1.46億元。

資料顯示，理想萬(wàn)里暉前身是理想能源PECVD事業(yè)部，2012年經(jīng)過(guò)拆分重組，于2013年完成注冊(cè)。2020年，理想萬(wàn)里暉完成A+輪融資，并落戶上海臨港新片區(qū)。

官網(wǎng)介紹稱，理想萬(wàn)里暉主營(yíng)太陽(yáng)能、泛半導(dǎo)體和半導(dǎo)體高端PECVD裝備，系列光伏和AMOLED顯示等領(lǐng)域高端PECVD系列產(chǎn)品多次打破國(guó)外壟斷、填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。理想萬(wàn)里暉表示將繼續(xù)致力于前沿高端光伏設(shè)備的研發(fā)，并將在現(xiàn)有基礎(chǔ)上延伸產(chǎn)業(yè)鏈，開(kāi)發(fā)大面積石墨烯和集成電路半導(dǎo)體領(lǐng)域用PECVD設(shè)備。

根據(jù)企查查資料，中微半導(dǎo)體本次認(rèn)繳出資額為約563.689萬(wàn)元，持有理想萬(wàn)里暉3.8499%股權(quán)。
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