我國計劃把大力支持發(fā)展的第三代半導體產業(yè)，寫入正在制定中的“十四五”規(guī)劃，在教育、科研、開發(fā)、融資、應用等各個方面，大力支持發(fā)展第三代半導體產業(yè)。在這個背景下，深圳市納設智能裝備有限公司（簡稱“納設智能”）近日完成了數千萬元天使輪融資，由東方富海管理的中小企業(yè)發(fā)展基金（深圳南山有限合伙）及老股東深圳嘉遠資本聯合投資。本輪融資資金將用于第三代半導體碳化硅化學氣相沉積外延設備（簡稱“碳化硅外延爐”）的產品研發(fā)、工藝驗證、市場推廣以及技術團隊擴建。

納設智能成立于2018年10月，坐落在深圳市光明區(qū)留學人員創(chuàng)業(yè)園，近期已通過國家高新技術企業(yè)初步認定。公司擁有一支包括頂級科學家在內的研發(fā)團隊，致力于第三代半導體等先進材料領域的高端裝備制造。

納設智能專注于碳化硅產業(yè)鏈里關鍵的碳化硅外延爐，此設備的關鍵難點就是溫度高，需要達到接近1700℃, 需要的反應室材料、溫度控制、氣體控制、防污染、工藝等都是面臨的挑戰(zhàn)，而納設智能團隊已掌握相應的自主創(chuàng)新的技術解決方案，可以實現產業(yè)化。公司研發(fā)團隊的主要行業(yè)經驗包括MOCVD設備、刻蝕設備以及納米材料等多款半導體設備和工藝開發(fā)及市場推廣，具有深厚的技術積累和豐富的行業(yè)資源；在先進設備的產品化和市場化推廣方面擁有平均十年以上的實戰(zhàn)經驗。2019年，團隊成立僅一年便成功完成4臺設備的設計組裝及調試，其中包括中國首臺開放式卷對卷石墨烯化學氣相沉積設備，實現了開放條件下，24小時連續(xù)不間斷生產石墨烯、碳納米管等先進薄膜材料，該技術實現了全球最低CVD石墨烯薄膜的生產成本；另外也銷售了三臺科研級CVD設備。

本輪融資資金將支持納設智能的技術團隊實現第三代半導體碳化硅高溫化學氣相沉積外延設備的高質量產業(yè)化，以滿足第三代半導體產業(yè)規(guī)模爆發(fā)式增長和技術升級自主可控的重大需求，助力攻關新材料先進裝備的核心技術難點，研制國內領先世界一流的碳化硅外延設備，實現下游產業(yè)化應用。同時，納設智能也在不斷擴大團隊規(guī)模，吸納培養(yǎng)更多的半導體專業(yè)技術研發(fā)人員，打造一流的人才聚集地。

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