據麥姆斯咨詢報道，長瀨集團（Nagase）旗下的硅烷光學納米壓印光刻（NIL）材料提供商Inkron近期對外宣布，對納米壓印材料和元件開發設備進行了戰略投資。投資詳情為Inkron從EVG公司購入自動化紫外納米壓印系統EVG 7200。該系統能夠實現微米和納米級結構的批量生產。Inkron表示，采用Smart NIL（智能納米壓印）技術的EVG 7200系統非常適合批量生產下一代光學器件，包括波導和衍射光學元件（DOE），這是增強現實（AR）和虛擬現實（VR）應用的核心元件。

EVG 7200納米壓印系統

Inkron表示，這項投資將有助于加快Inkron為增強現實（AR）眼鏡、3D傳感器和其它DOE關鍵元件所需的高性能光學材料的開發速度。此外，該項投資還將為其客戶提供元件原型設計和小批量制造服務。

EVG技術開發和知識產權總監Markus Wimplinger表示：“為推動納米壓印技術的發展，我們成立了NILPhotonics Competence Center。EVG與納米壓印產業鏈的企業合作，如Inkron等，利用我們在納米壓印方面的專業知識加速新器件和新應用的開發。與Inkron合作，我們很榮幸有機會為他們開發先進光刻膠，這對下一代光學器件制造至關重要。”

除納米壓印設備，Inkron還購入了光學結構制造設備和測試設備（包括器件性能和可靠性測試），相關的設備投入還將繼續進行。Inkron對外表示已經成立了一支專業團隊，以支持Inkron納米壓印生態系統。該團隊由Inkron副總裁JanneKylm?博士領導，材料科學家、光刻工藝工程師和光學專家等組成。

Inkron運營副總裁Jukka Perento作為該公司納米壓印業務的主導者，對此發表評論：“我們為能加快性能更優的創新光學樹脂技術開發而感到興奮。新型EVG 7200納米壓印系統在這一戰略舉措中起到了至關重要的作用。EVG 7200提升的工藝能力將幫助我們為客戶解決關鍵性能路線圖，助力客戶取得成功。”Perento補充說：“我們的納米壓印高折射率材料、與之匹配的間隙填充鍍膜，結合EVG的納米壓印系統，將為光學制造商提供關鍵的晶圓級解決方案，以實現其最新研發成果的量產。”

Inkron提供各種納米壓印加工材料和光學鍍膜，波段涵蓋從可見光到近紅外光范圍，折射率范圍為1.1~2.0。

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