1、產業鏈分析：下游應用廣泛

離子注入機是高壓小型加速器中的一種，是由離子源得到所需要的離子，經過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導體材料、大規模集成電路和器件的離子注入，還能用于太陽能電池等的制造。

離子注入機也是集成電路制造前工序中的關鍵設備，半導體為改變載流子濃度和導電類型需要對半導體表面附近區域進行摻雜，而離子注入與常規熱摻雜工藝相比可對注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴散等方面進行精確的控制，使得離子注入在半導體制造中被廣泛應用。

2、產業政策分析：離子注入機成關鍵研發設備

從政策環境上來看，我國對于離子注入機行業較為重視。其主要表現在將離子注入機在多項政策中列為推薦發展的關鍵設備。如《國家集成電路產業發展推薦綱要》中明確提出，要離子注入機作為關鍵設備進行研發。;《首臺（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄》（2019年版）也將中束流、大束流、高能離子注入機等離子注入機列入了名錄。

3、設備簡析：設備類型因具體應用而異

根據離子束電流和束流能量范圍，一般可以把離子注入機分為低能大束流離子注入機、高能離子注入機和中低束離子注入機。這些離子注入機的運行原理基本萊斯，但是注入計量范圍和具體在工藝中的主要應用各有不同，其具體如下：

4、細分市場格局分析：以大束流離子注入機為主

目前，全球離子注入機仍以大束流離子注入機為主，據Gartner數據披露，大束流離子注入機占離子注入機市場總份額的61%，中低束流離子注入機和高能離子注入機分別占20%和18%。

5、市場競爭格局分析：應用材料壟斷IC離子注入機

目前，全球離子注入機根據其下游應用不同，可以分為IC離子注入機和光伏離子注入機，IC離子注入機方面，美國的應用材料幾乎壟斷了市場，占據了70%左右的市場份額，其次為Axcelis（亞克士），占據了近20%的市場份額。

光伏離子注入機主要應用于太陽能電池制造，其生產廠商較少，主要為凱世通，intevac和日本真空。

6、市場規模統計：市場規模波動增長

從市場規模來看，2013-2019年，全球離子注入機市場呈現波動增長的態勢，除2016年略有下降外，其他年份離子注入機市場規模均出現了一定幅度的增長。2019年，全球離子注入機市場規模實現18.0億美元，較2018年增長17.65%。

7、企業分析：中美日三國領銜發展

全球離子注入機的領先企業主要分布在中國、美國和日本，其中，中國大陸擁有凱世通和中科信兩家離子注入機行業的龍頭企業，其中凱世通在光伏離子注入機方面遙遙領先。而美國則擁有近乎壟斷IC離子注入機市場的應用材料，以及漢辰科技、Axcelis、intevac等企業。日本也擁有日新、日本真空、住友重工等離子注入機知名廠商。

但我國企業在IC離子注入機制造方面距離世界頭部企業仍有一定的距離，離子注入機研發進度仍待加快。

我國離子注入機相關領先企業技術進展情況如下所示：

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