壓阻式傳感器是指利用單晶硅材料的壓阻效應和集成電路技術制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后,電阻率發生變化,通過測量電路就可得到正比于力變化的電信號輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉變為力的變化的其他物理量(如液位、加速度、重量、應變、流量、真空度)的測量和控制。
壓阻式傳感器的優點:
1、靈敏度非常高,有時傳感器的輸出不需放大可直接用于測量;
2、分辨率高,例如測量壓力時可測出10~20Pa的微壓;
3、測量元件的有效面積可做得很小,故頻率響應高;
4、可測量低頻加速度和直線加速度。
壓阻式傳感器的缺點:
壓阻式傳感器最大的缺點是溫度誤差大,故需溫度補償或恒溫條件下使用。
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