FREMONT,加利福尼亞州 - Asyst Technologies Inc.今天在這里推出采用直接驅動技術的新型大氣晶圓傳送機器人,設計非常可靠在半導體工藝工具中。
Axys 407機器人兼容1級潔凈室,能夠將200毫米或300毫米晶圓從晶圓盒或載體中的任何位置移動到任何加工工具的加工站或加載鎖中。憑借其專有的SmartCourse軟件,操作員可以指定復雜的機器人運動,并使其能夠從兩個300毫米的前開口統一吊艙(FOUP)移動晶圓,而無需使用昂貴的水平線性軌道。
許多老一代機器人采用了皮帶和皮帶輪驅動部件,可以磨損和滑動。該公司表示,Asyst的Axys 407機器人由一個終生密封的齒輪系統直接驅動,可以減少維護停機時間。此外,該機器人還包含四個主要的現場可更換子組件,與舊機器人設計相比,可將零件總數減少五倍。
Asyst表示,所有這一切使得Axys 407能夠在故障前實現超過1000萬次平均周期的可靠性(MCBF)。
“半導體工廠向更高的自動化邁進制造流程日益復雜,給OEM提供了更大的壓力,要求他們提高工具的性能和生產率,“Asyst全球客戶運營高級副總裁Dennis Riccio說。 “這反過來推動了對更可靠的機器人的需求,以便在整個晶圓廠加工時將晶圓移入和移出加工工具。”
Axys 407也是Asyst's的一個組成部分。 Plus Portal是一個交鑰匙工具自動化解決方案,可實現OEM生產工具與先進的晶圓廠自動化系統之間的無縫集成。
Asyst提供Axys 407作為業界最大的產品之一的直接替代品Riccio補充說,常用的上一代晶圓傳輸機器人。 “我們相信這是半導體設備行業第一次提供此類產品。此外,我們正在與客戶密切合作,以確保我們的Axys平臺完全集成到他們的工藝工具中,以確保高水平的性能。“
Axys 407機器人目前正在主要的半導體設備OEM站點進行運輸和測試。生產交付計劃于本月開始。
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