華虹宏力半導體技術研發暨設計服務執行副總裁孔蔚然博士接受《電子工程專輯》的”本土MEMS技術聚焦“專題采訪，表達了他對MEMS產業的相關見解和觀點。

中國MEMS產業，弱在哪里？

對此問題，孔蔚然博士表示，相對于歐美的MEMS企業，中國的MEMS產業處于起步階段，短期內無法滿足對MEMS市場的旺盛需求。“與標準化的IC制造相比，MEMS制造通常需要一些專用基礎設備投入，并且需要設計環節和生產制造環節緊密配合。一方面，很多原來制造中的問題要移到設計中去解決；另一方面，一些設計中的困難需要制造工藝來克服。從MEMS產業發展歷程來看，各類MEMS產品的初期研發階段往往是始于那些歐美日IDM大廠。到目前為止，IDM大廠在大多數MEMS產品的技術和市場上仍處于絕對領先態勢。”

同時他還特別指出，當前中國MEMS產業存在專業支撐平臺能力不足、技術成果轉化周期長等問題。“國內發展CMOS集成MEMS方案務必需要研究其他大廠的現有專利，以防止誤觸他人的專利范疇。此外，在MEMS市場競爭激烈之下，為了在市場上占據一席之地，降低生產成本已成為刻不容緩的課題。”

市場搖籃能否孕育中國MEMS產業后發優勢？

依靠中國這個最大的半導體、電子消費市場，中國MEMS產業是否有機會憑借地域優勢趕超先進？答案是肯定的。對此，孔蔚然博士總結了三點優勢所在。

第一，最直接的終端消費市場需求。由于智能手機、平板電腦的巨大市場需求，以及增長潛力無限的可穿戴和物聯網市場的驅動，MEMS傳感器的市場增量將相當可觀。根據IHS的資料，MEMS傳感器市場于2014年的規模為93億美元，并預測于2019年增至130億美元，年復合增長率為7%。

同時，作為世界制造大國，中國是消費電子、汽車的最大生產和消費國，這也決定了中國是芯片消費大國。相比IC產品，中國在MEMS傳感器產品的自給率更低。但是，差距同時也是機遇。國內MEMS產業勢必需要加快自主研發進度，發揚技術創新，加強上中下游合作，盡早形成產業化，并最終在MEMS市場中占據一席之地甚至持續擴大市場份額。

第二，成熟的CMOS技術工藝和產能。國內200mm CMOS工藝及產線已經具備多年相當成熟的量產經驗，CMOS集成MEMS方案是國內MEMS傳感器發展壯大的唯一出路。以Fabless+Foundry模式，利用成熟的CMOS集成電路生產線，整合MEMS專用設備及工藝，實現MEMS器件與標準CMOS工藝及產線的全兼容，有利于加快MEMS產業的發展，降低成本，避免重復投資，延長200mm設備及廠房技術壽命。

第三，有力的政策支持。鑒于中國消費類電子、汽車應用、醫療等各領域對MEMS元件的強勁需求，政府正大力推動本土MEMS產業的發展，著力將本土晶圓代工廠、IC設計公司與半導體設備供應商聯合起來，形成完整的產業鏈，并為此提供強大的資金后援和有力的政策支持。2014年6月，國務院更是以“國家集成電路發展綱要”積極布局半導體產業，以市場化運作的基金方式投入，從而也為MEMS產業的發展提供了一個良好的條件。

關于如何壯大中國MEMS產業的思考？

華虹宏力位于MEMS產業的晶圓制造環節，著眼于開發具有自主知識產權的CMOS-MEMS智能傳感器產品集成制造技術平臺，重點開發面向智能移動終端和物聯網的智能傳感器芯片制造工藝平臺，包括表硅MEMS及體硅MEMS工藝平臺。

“華虹宏力投資矽睿科技進行戰略合作，發力MEMS傳感器市場，已經合作了多款產品。近期雙方更是聯合推出國內第一款單芯片三軸陀螺儀QMG6982。首次將MEMS陀螺儀器件和專用集成電路（ASIC）器件集成在單一硅片上，從而簡化了內部連線，減少了內部封裝的綁定金線，提升了封裝可靠性，因此較上一代產品體現出更高的性能和良率。

孔蔚然博士指出，“MEMS傳感器是華虹宏力一個新的增長機會。我們正在加大與客戶的合作，進一步鞏固和加強現有MEMS傳感器工藝技術及其產品在智能移動終端的市場滲透率，同時也將大力拓展智能穿戴設備、物聯網、汽車和醫療等應用領域。同時，為了確保公司的持續競爭力，我們還將繼續加強由包含MEMS傳感器等研發項目產生重要的創新技術而不斷增加專利和專利申請，大力捍衛我們的知識產品組合。“