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介紹了微機(jī)電系統(tǒng)的基本原理及其在空間應(yīng)用的發(fā)展概況, 著重介紹了空間微傳感器、微執(zhí)行器、RF2M EM S、MO EM S、微儀器和微?納衛(wèi)星的研究與進(jìn)展情況。
關(guān)鍵詞: 微機(jī)電系統(tǒng); 微衛(wèi)星; 空間應(yīng)用
Abstract: The basal p rincip les and space app lict ions ofM icroM echanical System s are int roduced. The detailed status in the research and development of m icro senso rs, m icro actuato rs, RF2M EM S, MO SEM S, m icro devices and m icro?nano satellites are p resented.
Key words: M icro Elect roM echanical System s; m icro sats; space app licat ion
關(guān)鍵詞: 微機(jī)電系統(tǒng); 微衛(wèi)星; 空間應(yīng)用
Abstract: The basal p rincip les and space app lict ions ofM icroM echanical System s are int roduced. The detailed status in the research and development of m icro senso rs, m icro actuato rs, RF2M EM S, MO SEM S, m icro devices and m icro?nano satellites are p resented.
Key words: M icro Elect roM echanical System s; m icro sats; space app licat ion
微機(jī)電
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