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論述了微機電系統設計工具的發展概況，并針對微機電系統的多樣性對設計工具的需求提出了一種可支持任意流程的微機電系統設計工具架構。該架構以系統級行為建模與仿真、器件級物理建模與仿真和工藝級版圖設計與工藝仿真三個設計層級為主干，但特別地提出以六個數據自動傳遞接口來連接任意兩個設計層級。這樣，三個設計層級通過六個數據自動傳遞接口構成一個設計閉環，使得用戶可以從任意一個設計層級開始設計，并完成設計循環，提供了在設計流程上的最大柔性。以網表、標準格式的實體模型和版圖文件分別作為這三個層級設計數據的出入口，并設計了相應的信息提取算法及程序，實現了任意兩個級別之間的數據自動傳遞，從而可以支持在該架構下的全部六種設計流程。所進行的設計實例表明，基于該工具可以針對不同的微機電系統器件選擇最優的設計路線，是對當前通用微機電系統結構化設計方法的發展和提高，可顯著提高設計效率。
微機電系統
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