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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>半導體光刻技術及設備的發展趨勢

      半導體光刻技術及設備的發展趨勢

      2011-10-31 | pdf | 419 KB | 次下載 | 免費

      資料介紹

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      隨著芯片集成度的不斷提高、器件尺寸的不斷縮小，光刻技術和光刻設備發生著顯著變化。通過對目前國內外光刻設備生產廠商對下一代光刻技術的開發及目前已經應用到先進生產線上的光刻技術及設備進行了對比研究，對光刻技術和光刻設備的發展趨勢進行了介紹，并對我國今后半導體光刻技術及設備的發展提出了合理化建議。
      ?
      半導體 光刻技術
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