半導(dǎo)體制造工藝之光刻工藝詳解
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。
舉報投訴
-
半導(dǎo)體
+關(guān)注
關(guān)注
339文章
31024瀏覽量
265560 -
制造工藝
+關(guān)注
關(guān)注
2文章
214瀏覽量
21307 -
光刻工藝
+關(guān)注
關(guān)注
1文章
38瀏覽量
2118
原文標題：【光電集成】半導(dǎo)體制造工藝（一）光刻工藝
文章出處：【微信號：今日光電，微信公眾號：今日光電】歡迎添加關(guān)注！文章轉(zhuǎn)載請注明出處。
發(fā)布評論請先 登錄
相關(guān)推薦
熱點推薦
光刻工藝的基本步驟
傳統(tǒng)的光刻工藝是相對目前已經(jīng)或尚未應(yīng)用于集成電路產(chǎn)業(yè)的先進光刻工藝而言的，普遍認為 193nm 波長的 ArF 深紫外光刻工藝是分水嶺（見下表）。這是因為 193nm 的光刻依靠浸沒式
發(fā)表于 10-18 11:20
?1.8w次閱讀
淺談半導(dǎo)體制造中的光刻工藝
在之前的文章里，我們介紹了晶圓制造、氧化過程和集成電路的部分發(fā)展史。現(xiàn)在，讓我們繼續(xù)了解光刻工藝，通過該過程將電子電路圖形轉(zhuǎn)移到晶圓上。光刻過程與使用膠片相機拍照非常相似。但是具體是怎么實現(xiàn)的呢？
發(fā)表于 06-28 10:07
?7269次閱讀
半導(dǎo)體制造之光刻工藝講解
光刻工藝就是把芯片制作所需要的線路與功能做出來。利用光刻機發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光，光刻膠見光后會發(fā)生性質(zhì)變化，從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上，從而使薄片具有電
光刻工藝的主要流程和關(guān)鍵指標
光刻工藝貫穿整個芯片制造流程的多次重復(fù)轉(zhuǎn)印環(huán)節(jié)，對于集成電路的微縮化和高性能起著決定性作用。隨著半導(dǎo)體制造工藝演進，對光刻分辨率、套準精度和
最全最詳盡的半導(dǎo)體制造技術(shù)資料，涵蓋晶圓工藝到后端封測
——薄膜制作(Layer)、圖形光刻(Pattern)、刻蝕和摻雜，再到測試封裝，一目了然。 全書共分20章，根據(jù)應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的主要技術(shù)分類來安排章節(jié)，包括與半導(dǎo)體制造相關(guān)的基礎(chǔ)技術(shù)信息；總體流程圖
發(fā)表于 04-15 13:52
半導(dǎo)體制造的難點匯總
是各種半導(dǎo)體晶體管技術(shù)發(fā)展豐收的時期。第一個晶體管用鍺半導(dǎo)體材料。第一個制造硅晶體管的是德州儀器公司。20世紀60年代——改進工藝此階段，半導(dǎo)體制造
發(fā)表于 09-02 18:02
《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》GaN 納米線制造和單光子發(fā)射器器件應(yīng)用的蝕刻工藝
`書籍：《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》文章：GaN 納米線制造和單光子發(fā)射器器件應(yīng)用的蝕刻工藝編號：JFSJ-21-045作者：炬豐科技網(wǎng)址：http://www.wetsemi.com
發(fā)表于 07-08 13:11
《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》IC制造工藝
`書籍：《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》文章：IC制造工藝編號：JFSJ-21-046作者：炬豐科技網(wǎng)址：http://www.wetsemi.com/index.html摘要：集成電路的
發(fā)表于 07-08 13:13
半導(dǎo)體制造之光刻原理、工藝流程
光刻膠作為影響光刻效果核心要素之一，是電子產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵材料。光刻膠由溶劑、光引發(fā)劑和成膜樹脂三種主要成分組成，是一種具有光化學(xué)敏感性的混合液體。其利用光化學(xué)反應(yīng)，經(jīng)曝光、顯影等光刻工藝，
發(fā)表于 10-09 14:34
?5766次閱讀
光刻工藝的基本知識
在萬物互聯(lián)，AI革命興起的今天，半導(dǎo)體芯片已成為推動現(xiàn)代社會進步的心臟。而光刻(Lithography)技術(shù)，作為先進制造中最為精細和關(guān)鍵的工藝，不管是
光刻工藝中的顯影技術(shù)
一、光刻工藝概述 光刻工藝是半導(dǎo)體制造的核心技術(shù)，通過光刻膠在特殊波長光線或者電子束下發(fā)生化學(xué)變化，再經(jīng)過曝光、顯影、刻蝕等工藝過程，將設(shè)計
工商網(wǎng)監(jiān)
評論