電子發(fā)燒友App
創(chuàng)作
發(fā)文章
發(fā)帖 
提問 
發(fā)資料
發(fā)視頻資料介紹
M5525100－1/UM型大角度離子注入機:M5525100－1/UM 型大角度離子注入機可滿足100 納米，8 英寸集成電路制造工藝的要求，適合源漏區(qū)的大角度暈、袋、柵閾值調(diào)整、阱等注入，可獲得良好的注入均勻性、重復性。M5525100－1/UM 型大角度離子注入機突破了離子注入機設(shè)計與制造的關(guān)鍵技術(shù)，在離子注入機的總體設(shè)計與集成、自動化與可靠性設(shè)計等核心技術(shù)上取得突破。整機包括束線系統(tǒng)、電源系統(tǒng)、靶室系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等五大系統(tǒng)。
該設(shè)備實現(xiàn)了全自動智能控制及晶片自動傳輸控制，采用單圓片傳送系統(tǒng)及靜電夾持技
術(shù)，可實現(xiàn)大角度(0～60°)和零角度注入功能；使用長壽命離子源，大大提高了設(shè)備正常
運行時間；對注入束的均勻性和劑量實時監(jiān)控； 整機配備SMIF 系統(tǒng)，具備適應大生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率和高可靠性，完全可替代同類進口設(shè)備。
該設(shè)備實現(xiàn)了全自動智能控制及晶片自動傳輸控制，采用單圓片傳送系統(tǒng)及靜電夾持技
術(shù)，可實現(xiàn)大角度(0～60°)和零角度注入功能；使用長壽命離子源，大大提高了設(shè)備正常
運行時間；對注入束的均勻性和劑量實時監(jiān)控； 整機配備SMIF 系統(tǒng)，具備適應大生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率和高可靠性，完全可替代同類進口設(shè)備。
離子
加入交流群
掃碼添加小助手
加入工程師交流群
下載該資料的人也在下載
下載該資料的人還在閱讀
更多 >
- 離子注入高效SE電池 3次下載
- 提高直升機齒輪傳動干運轉(zhuǎn)能力的離子注入技術(shù) 42次下載
- 離子注入生物實驗的計算機控制技術(shù)研究 0次下載
- 離子束注入技術(shù)應用 0次下載
- 離子注入知識常見問答 0次下載
- 離子注入工藝(ion implantation) 122次下載
- 大規(guī)模集成技術(shù)5-離子注入ppt 0次下載
- 金屬表面改性用離子注入的機理和特點 68次下載
- 離子注入(Ion Implantation)教程 0次下載
- 集成電路工藝技術(shù)講座-離子注入(Ion implantation) 0次下載
- 等離子體源離子注入技術(shù)及其應用 48次下載
- 離子注入工藝 (課程設(shè)計資料) 86次下載
- 離子注入摻雜銳鈦礦TiO2薄膜的光學性能 16次下載
- 新型大角度低損耗Y分支在集成光器件中的應用
- 4H-SiC離子注入層的歐姆接觸的制備
- 離子注入工藝中的常見問題及解決方案 749次閱讀
- 離子注入技術(shù)的常見問題 2k次閱讀
- 芯片離子注入后退火會引入的工藝問題 1.7k次閱讀
- SiC的離子注入工藝及其注意事項 1.9k次閱讀
- 源漏離子注入工藝的制造流程 1.9k次閱讀
- SiC與GaN 功率器件中的離子注入技術(shù)挑戰(zhàn) 2.9k次閱讀
- 介紹離子注入在電容極板和濕法腐蝕自停止技術(shù)上的應用 2k次閱讀
- 什么是離子注入？離子注入的應用介紹 7.5k次閱讀
- 離子注入中的劑量和濃度之間有何關(guān)系呢？ 5.9k次閱讀
- 離子注入涉及到的隧道效應為什么需要7°角？ 3.2k次閱讀
- 原位摻雜、擴散和離子注入的相關(guān)原理及其區(qū)別介紹 8.7k次閱讀
- 碳化硅離子注入和退火工藝介紹 5.3k次閱讀
- 什么是離子注入？離子注入相對于擴散的優(yōu)點？ 7.5k次閱讀
- 半導體離子注入工藝評估 7.8k次閱讀
- 離子注入技術(shù)的優(yōu)點和應用 4.5k次閱讀
上傳資料賺積分下載排行
本周
- 1MDD品牌三極管MMBT3906數(shù)據(jù)手冊
- 2.33 MB | 次下載 | 免費
- 2MDD品牌三極管S9012數(shù)據(jù)手冊
- 2.62 MB | 次下載 | 免費
- 3聯(lián)想flex2-14D/15D說明書
- 4.92 MB | 次下載 | 免費
- 4收音環(huán)繞擴音機 AVR-1507手冊
- 2.50 MB | 次下載 | 免費
- 524Pin Type-C連接器設(shè)計報告
- 1.06 MB | 次下載 | 免費
- 6新一代網(wǎng)絡(luò)可視化（NPB 2.0）
- 3.40 MB | 次下載 | 免費
- 7MS1000TA 超聲波測量模擬前端芯片技術(shù)手冊
- 0.60 MB | 次下載 | 免費
- 8MS1022高精度時間測量(TDC)電路數(shù)據(jù)手冊
- 1.81 MB | 次下載 | 免費
本月
- 1愛華AIWA HS-J202維修手冊
- 3.34 MB | 37次下載 | 免費
- 2PC5502負載均流控制電路數(shù)據(jù)手冊
- 1.63 MB | 23次下載 | 免費
- 3NB-IoT芯片廠商的資料說明
- 0.31 MB | 22次下載 | 1 積分
- 4H110主板CPU PWM芯片ISL95858HRZ-T核心供電電路圖資料
- 0.63 MB | 6次下載 | 1 積分
- 5UWB653Pro USB口測距通信定位模塊規(guī)格書
- 838.47 KB | 5次下載 | 免費
- 6技嘉H110主板IT8628E_BX IO電路圖資料
- 2.61 MB | 4次下載 | 1 積分
- 7蘇泊爾DCL6907(即CHK-S007)單芯片電磁爐原理圖資料
- 0.04 MB | 4次下載 | 1 積分
- 8100W準諧振反激式恒流電源電路圖資料
- 0.09 MB | 2次下載 | 1 積分
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935137次下載 | 10 積分
- 2開源硬件-PMP21529.1-4 開關(guān)降壓/升壓雙向直流/直流轉(zhuǎn)換器 PCB layout 設(shè)計
- 1.48MB | 420064次下載 | 10 積分
- 3Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233089次下載 | 10 積分
- 4電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
- 340992 | 191439次下載 | 10 積分
- 5十天學會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183353次下載 | 10 積分
- 6labview8.5下載
- 未知 | 81602次下載 | 10 積分
- 7Keil工具MDK-Arm免費下載
- 0.02 MB | 73822次下載 | 10 積分
- 8LabVIEW 8.6下載
- 未知 | 65991次下載 | 10 積分
工商網(wǎng)監(jiān)
評論