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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>硅通孔互連技術的開發與應用

      硅通孔互連技術的開發與應用

      2009-12-14 | rar | 344 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      硅通孔互連技術的開發與應用
      封國強 蔡堅 王水弟
      （清華大學微電子學研究所，北京，100084，中國）
      摘要：隨著三維疊層封裝、MEMS 封裝、垂直集成傳感器陣列以及臺面MOS 功率器件
      倒裝焊技術的開發，硅通孔互連技術正在受到越來越廣泛的重視和研究。本文敘述了幾種硅通孔互連的制造方法，及其應用。最后，進一步闡述了硅通孔互連中幾項關鍵技術的研究現狀以及存在的挑戰。
      關鍵詞：硅通孔互連；三維封裝；MEMS 封裝
      互連技術
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