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      電子發燒友網>電子資料下載>電子教材>PECVD功率對減反射膜及電池電性能的影響_科技論文_袁靜

      PECVD功率對減反射膜及電池電性能的影響_科技論文_袁靜

      2015-05-04 | doc | 345KB | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      本文對板式及管式PECVD中的微波和射頻功率進行了調節，通過分析其對氮化硅薄膜厚度與折射率的影響，指出其對目前生產線工藝的影響，以及對最終電池片電性能的幫助作用。
      PECVD
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