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LED 外延片--襯底材料
襯底材料是半導體照明產業技術發展的基石。不同的襯底材料，需要不同的外延
生長技術、芯片加工技術和器件封裝技術，襯底材料決定了半導體照明技術的發
展路線。襯底材料的選擇主要取決于以下九個方面：
. [1]結構特性好，外延材料與襯底的晶體結構相同或相近、晶格常數失配度小、
結晶性能好、缺陷密度??；
. [2]界面特性好，有利于外延材料成核且黏附性強；
. [3]化學穩定性好，在外延生長的溫度和氣氛中不容易分解和腐蝕；
. [4]熱學性能好，包括導熱性好和熱失配度??；
. [5]導電性好，能制成上下結構；
. [6]光學性能好，制作的器件所發出的光被襯底吸收小；
. [7]機械性能好，器件容易加工，包括減薄、拋光和切割等；
. [8]價格低廉；
. [9]大尺寸，一般要求直徑不小于2英吋。
襯底的選擇要同時滿足以上九個方面是非常困難的。所以，目前只能通過外
延生長技術的變更和器件加工工藝的調整來適應不同襯底上的半導體發光器件
的研發和生產。用于氮化鎵研究的襯底材料比較多，但是能用于生產的襯底目前
只有二種，即藍寶石Al2O3和碳化硅SiC 襯底。表2-4對五種用于氮化鎵生長的
襯底材料性能的優劣進行了定性比較。
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