Flexfilm文章

• 薄膜測厚選CWL法還是觸針法？針對不同厚度與材質的臺階儀技術選型指南2025-10-22 18:03

  

  在微電子與MEMS領域，薄膜厚度測量對薄膜沉積、產品測試及失效分析至關重要，有機半導體因低成本、室溫常壓易加工及“濕法”制備優勢，在OLED等器件中潛力大，但其一存在膜層柔軟、附著力差等問題，影響厚度測量準確性；其二常用的觸針式臺階儀雖測量范圍廣，卻因接觸式測量易破壞軟膜，非接觸的彩色白光（CWL）法雖可掃描大面積表面，卻受薄膜光學不均勻性影響精度。Flex

  測厚 測量 薄膜 2243瀏覽量

• 橢偏儀表征薄膜非晶相 | 精準分析不同襯底溫度下氫化非晶氧化硅(i-a-SiO?:H)薄膜的光學性質與結構2025-10-20 18:04

  

  本征氫化非晶氧化硅（i-a-SiO?:H）是a-Si:H/c-Si異質結太陽電池的重要鈍化材料，兼具PECVD低溫沉積、帶隙寬等優勢，但i-a-SiO?:H鈍化性能與制備工藝、儀器密切相關；目前室溫（25℃）下在n型直拉單晶硅（n-Cz-Si）表面沉積i-a-SiO?:H時，硅片少子壽命極低，鈍化效果差，且襯底溫度對其鈍化性能的影響尚不明確；Flexfilm

  光學 太陽能電池 740瀏覽量

• 臺階儀在表面計量學的應用：基于表面紋理最大高度S±3σ的表征研究2025-10-17 18:03

  

  表面形貌的平均高度與最大幅度直接影響零部件的使用功能。工業中常通過二維輪廓測量獲取相關參數，但輪廓最大高度存在較大波動性。Flexfilm探針式臺階儀可以實現表面微觀特征的精準表征與關鍵參數的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料質量把控和生產效率提升提供數據支撐。本研究提出基于三維面掃描測量結果，通過將表面最大高度修正至材料比率0.13%-99

  儀器 測量 輪廓測量 550瀏覽量

• 橢偏儀在精密薄膜中的應用：基于單驅動變角結構的高重復性精度控制系統2025-10-15 18:04

  

  橢偏測試技術具有非接觸、高靈敏、無樣品破壞優勢，廣義橢偏儀因可測各向同性與異性樣品成研究熱點，但需變角結構實現多角度測量。當前立式橢偏儀存在雙電機配合難或裝配精度高問題，臥式橢偏儀光路不易對準，且缺乏低成本、高集成度且精確變角控制的方案。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應用于薄膜材料、半導體和表面科學等領域。本文提

  控制系統 薄膜 507瀏覽量

• 臺階儀在多鍍層膜厚中的應用：基于單基體多膜標準實現0.5%高精度測量2025-10-13 18:04

  

  表面涂覆技術是現代制造業的關鍵工藝，鍍層厚度是其核心質量指標。目前，單鍍層厚度測量技術已較為成熟，但多鍍層厚度標準仍存在溯源精度低、量值不統一等問題。Flexfilm探針式臺階儀可以實現表面微觀特征的精準表征與關鍵參數的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料質量把控和生產效率提升提供數據支撐。本研究基于真空鍍膜技術和單鍍層溯源方法，成功研制出單基

  儀器 測量 361瀏覽量

• 橢偏儀常見技術問題解答（二）2025-10-10 18:05

  

  橢偏儀是一種基于橢圓偏振分析的光學測量儀器，通過探測偏振光與樣品相互作用后偏振態的變化，獲取材料的光學常數和結構信息。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應用于薄膜材料、半導體和表面科學等領域。1光譜橢偏法如何測定折射率?flexfilmΨ的振蕩具有特定的振幅除了厚度信息，數據振蕩的形狀取決于薄膜的折射率。Ψ的振蕩曲線

  儀器 光學測量 436瀏覽量

• 臺階儀/橢偏儀在不同半導體關鍵工序中的計量技術與應用2025-09-29 18:05

  

  隨著半導體技術向高集成度與高性能方向不斷發展，工藝尺寸持續縮小，制造工藝對膜厚、線寬、臺階高度及電阻率等關鍵參數的測量精度提出了更高要求。然而，半導體測量設備在實際應用中面臨量值溯源體系不完善、測量結果不一致等突出問題，直接影響工藝控制的準確性與器件性能的可靠性。Flexfilm探針式臺階儀可以實現表面微觀特征的精準表征與關鍵參數的定量測量，精確測定樣品的表

  半導體 測量 8786瀏覽量

• 橢偏儀常見技術問題解答（一）2025-09-26 18:04

  

  橢偏儀是一種基于橢圓偏振分析的光學測量儀器，通過探測偏振光與樣品相互作用后偏振態的變化，獲取材料的光學常數和結構信息。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應用于薄膜材料、半導體和表面科學等領域。1橢偏儀測量什么?flexfilm橢偏儀利用偏振光來表征薄膜和塊體材料。當光與樣品結構相互作用時，其偏振狀態會發生變化。測量結

  儀器 光學 測量儀器 908瀏覽量

• 汽車玻璃可見光透射率VLT標準70%：關乎道路安全的關鍵指標2025-09-24 18:02

  

  在國際窗膜協會澳大利亞分會（IWFAA）的持續游說下，澳大利亞多地已允許將汽車前側窗的可見光透射率（VLT）標準從70%降至35%，以期實現全國規范統一。然而，這一提議引發了重要的道路安全隱患：前側窗作為駕駛員觀察側向交通、識別行人及騎行者的關鍵視覺通道，其透光率的大幅降低將直接削弱在夜間、低光照或復雜路況下的視覺識別能力。Flexfilm汽車玻璃透過率檢測

  vlt 檢測儀 汽車 986瀏覽量

• 從數據到模型：臺階儀如何實現高精度微結構測量2025-09-22 18:05

  

  為解決臺階儀在微結構測量中的點云配準精度不足、系統誤差難補償及傳統校準離散、導軌誤差大等問題，費曼儀器致力于為全球工業智造提供提供精準測量解決方案，Flexfilm探針式臺階儀可以實現表面微觀特征的精準表征與關鍵參數的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料質量把控和生產效率提升提供數據支撐。本研究提出融合增強型ICP與SIL的表面匹配方法，輔以多

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