Flexfilm文章

• 基于光譜橢偏術(shù)的多層結(jié)構(gòu)介質(zhì)衍射光柵表征研究2025-09-19 18:03

  

  在集成光學(xué)與光子器件研究中，介電衍射光柵是耦合布洛赫表面波等導(dǎo)模的關(guān)鍵元件，但其亞微米尺度的幾何參數(shù)難以通過顯微技術(shù)精確表征。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜材料、半導(dǎo)體和表面科學(xué)等領(lǐng)域。本研究采用光譜橢偏術(shù)（SE）對制備于布洛赫表面波（BSW）支撐多層結(jié)構(gòu)上的亞微米周期介質(zhì)光柵進(jìn)行光學(xué)表征與建模，在建模

  光子器件 光譜 耦合器 930瀏覽量

• 衍射光學(xué)元件DOE：臺階高度與位置誤差的測量2025-09-17 18:03

  

  衍射光學(xué)元件（DOE）因其在波前調(diào)制和色差校正方面的優(yōu)勢，廣泛應(yīng)用于紅外光學(xué)系統(tǒng)等領(lǐng)域。然而，其非連續(xù)面形結(jié)構(gòu)（如相位突變點和臺階高度）使得傳統(tǒng)檢測方法難以滿足精度要求。費曼儀器致力于為全球工業(yè)智造提供提供精準(zhǔn)測量解決方案，F(xiàn)lexfilm探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料質(zhì)量把控和生產(chǎn)效

  DOE 光學(xué)元件 測量 675瀏覽量

• 橢偏儀選型指南 | 橢圓偏振法與反射法的優(yōu)劣對比2025-09-15 18:02

  

  橢圓偏振法和反射法是用于表面分析和薄膜表征的光學(xué)測量技術(shù)。這兩種方法都依賴于光反射：橢圓偏振法分析反射光偏振狀態(tài)的變化，反射法則測量其強度。橢圓偏振法和反射法之間的選擇取決于測量原理、靈敏度和數(shù)據(jù)解釋要求。每種技術(shù)在材料科學(xué)和表面分析中都有特定的作用。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜材料、半導(dǎo)體和表面科學(xué)

  光學(xué)測量 半導(dǎo)體 薄膜材料 797瀏覽量

• 汽車玻璃透光率≥70%的吸水防霧微米膜層的制備2025-09-12 18:10

  

  汽車玻璃的防霧功能是保障駕駛安全的關(guān)鍵，當(dāng)前前檔玻璃可通過空調(diào)、后檔玻璃可通過電加熱實現(xiàn)防霧，但邊窗玻璃因結(jié)構(gòu)限制（多為單層鋼化玻璃），現(xiàn)有防霧手段均不適用。同時，已有的防霧材料普遍存在耐候性差、耐磨性不足、易黃變等問題，難以滿足汽車玻璃長期使用需求。本研究設(shè)計雙層結(jié)構(gòu)吸水防霧膜，通過分層功能分工實現(xiàn)高效防霧與穩(wěn)定性能。通過Flexfilm汽車玻璃透過率檢測

  材料 檢測儀 汽車 809瀏覽量

• 臺階儀在大面積硬質(zhì)涂層的應(yīng)用：精準(zhǔn)表征形貌與蝕刻 / 沉積結(jié)構(gòu)參數(shù)2025-09-10 18:04

  

  PVD硬質(zhì)涂層的表面形貌直接影響其摩擦學(xué)、潤濕性等功能性能，而精準(zhǔn)表征形貌特征是優(yōu)化涂層工藝的關(guān)鍵。臺階儀因可實現(xiàn)大掃描面積的三維形貌成像與粗糙度量化，成為研究PVD涂層形貌的核心工具。費曼儀器致力于為全球工業(yè)智造提供提供精準(zhǔn)測量解決方案，F(xiàn)lexfilm探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料

  儀器 測量 薄膜厚度 1258瀏覽量

• 橢偏儀在半導(dǎo)體薄膜厚度測量中的應(yīng)用：基于光譜干涉橢偏法研究2025-09-08 18:02

  

  薄膜厚度的測量在芯片制造和集成電路等領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用。橢偏法具備高測量精度的優(yōu)點，利用寬譜測量方式可得到全光譜的橢偏參數(shù)，實現(xiàn)納米級薄膜的厚度測量。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜材料、半導(dǎo)體和表面科學(xué)等領(lǐng)域。為解決半導(dǎo)體領(lǐng)域常見的透明硅基底上薄膜厚度測量的問題并消除硅層的疊加信號，本文提出基于光譜干

  半導(dǎo)體 厚度測量 薄膜 1811瀏覽量

• 臺階儀精準(zhǔn)測量薄膜工藝中的膜厚：制備薄膜理想臺階提高膜厚測量的準(zhǔn)確性2025-09-05 18:03

  

  固態(tài)薄膜因獨特的物理化學(xué)性質(zhì)與功能在諸多領(lǐng)域受重視，其厚度作為關(guān)鍵工藝參數(shù)，準(zhǔn)確測量對真空鍍膜工藝控制意義重大，臺階儀法因其能同時測量膜厚與表面粗糙度而被廣泛應(yīng)用于航空航天、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。費曼儀器致力于為全球工業(yè)智造提供提供精準(zhǔn)測量解決方案，F(xiàn)lexfilm探針式臺階儀可以精確多種薄膜樣品的薄膜厚度。臺階儀法需在薄膜表面制備臺階，通過測量臺階高度反推膜厚。然

  儀器 測量 770瀏覽量

• 橢偏儀在集成電路檢測中的應(yīng)用：以標(biāo)準(zhǔn)樣品校準(zhǔn)法校準(zhǔn)橢偏參數(shù)2025-09-03 18:04

  

  橢偏術(shù)因其高靈敏度、非接觸與在線測量能力，已成為薄膜與IC工藝檢測的重要手段。但儀器的準(zhǔn)確性依賴系統(tǒng)中偏振元件與幾何參數(shù)的精確校準(zhǔn)，且在工業(yè)環(huán)境中這些參數(shù)會隨時間與環(huán)境漂移變化——因此需要快速、簡單且準(zhǔn)確的校準(zhǔn)方法以維持儀器性能。傳統(tǒng)校準(zhǔn)方法（如雙區(qū)域法）在實施上復(fù)雜且不易在生產(chǎn)線上周期性重復(fù)。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精

  檢測 薄膜材料 集成電路 1044瀏覽量

• 汽車玻璃隔熱膜技術(shù)方案的對比：汽車玻璃透光率檢測分析2025-09-01 18:01

  

  汽車玻璃在采光、擋風(fēng)和遮雨方面具有重要作用，但普通玻璃對紫外線和紅外線阻隔性差，導(dǎo)致車內(nèi)溫度升高、空調(diào)能耗增加、車內(nèi)設(shè)施老化速度加快。為解決這一問題，汽車玻璃隔熱膜應(yīng)運而生，要求在可見光透射率不低于75%的前提下，具備高紅外反射率和紫外隔斷能力。目前研究主要集中在隔熱貼膜、ITO透明導(dǎo)電膜、可熱彎銀基低輻射膜、透明隔熱涂料及溶膠-凝膠鍍膜等方向，其中Flex

  儀器 檢測 汽車 1665瀏覽量

• 薄膜測厚選臺階儀還是橢偏儀？針對不同厚度范圍提供技術(shù)選型指南2025-08-29 18:01

  

  在現(xiàn)代工業(yè)與科研中，薄膜厚度是決定材料腐蝕性能、半導(dǎo)體器件特性以及光學(xué)與電學(xué)性質(zhì)的關(guān)鍵參數(shù)。精準(zhǔn)測量此參數(shù)對于工藝優(yōu)化、功能材料理解及反向工程都至關(guān)重要。其中，臺階儀通過直接測量薄膜與暴露基底之間的物理高度差，為實現(xiàn)厚膜層的簡單、直接測量提供了經(jīng)典方案。而光譜橢偏儀則利用光與薄膜相互作用的偏振態(tài)變化，兼具非破壞性、快速測量與提取材料光學(xué)常數(shù)的優(yōu)勢，成為表征透

  半導(dǎo)體器件 測厚 薄膜 2785瀏覽量