Flexfilm文章

• 橢圓偏振光譜儀：半導體、聚合物和生物傳感器材料領域的應用綜述2025-08-06 18:02

  

  橢圓偏振光譜儀(SE)，簡稱橢偏儀以其非破壞性和非接觸性、高精度和高靈敏度、原位測量能力以及廣泛的適用性等技術優勢,在材料科學、半導體物理、微電子學等領域發揮著重要作用。橢偏儀精確測量薄膜的厚度、光學帶隙、折射率、消光系數、薄膜組成、界面和表面粗糙度等特征，對于理解薄膜的光學性能、電學性能以及機械性能至關重要。費曼儀器作為國內領先的薄膜材料檢測解決方案提供商

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• 汽車玻璃透過率的精準測量：優化前擋風玻璃膜的透光率與隔熱性能2025-08-04 18:02

  

  前擋風玻璃是影響汽車采光、熱舒適與空調能耗的重要因素。太陽光透過汽車玻璃使汽車內部溫度升高，不僅造成車內設施老化加快，同時也增大了汽車空調負荷和油耗。費曼儀器為汽車玻璃提供專業的光學特性（透射率、反射率等）分析的，其中Flexfilm汽車玻璃透過率檢測儀通過對汽車玻璃透光率進行檢測，為開發在紫外線、紅外線光譜范圍內透過率小，而在可見光范圍內透過率大的透光隔熱

  汽車 測量 1913瀏覽量

• 臺階儀在半導體制造中的應用 | 精準監測溝槽刻蝕工藝的臺階高度2025-08-01 18:02

  

  在半導體制造中，溝槽刻蝕工藝的臺階高度直接影響器件性能。臺階儀作為接觸式表面形貌測量核心設備，通過精準監測溝槽刻蝕形成的臺階參數（如臺階高度、表面粗糙度），為工藝優化提供數據支撐。Flexfilm費曼儀器致力于為全球工業智造提供提供精準測量解決方案，Flexfilm探針式臺階儀可以在半導體溝槽刻蝕工藝的高精度監測研究通過校準規范、誤差分析與標準樣板定值，實現

  半導體 器件 監測 1046瀏覽量

• 橢偏儀在半導體薄膜工藝中的應用：膜厚與折射率的測量原理和校準方法2025-07-30 18:03

  

  半導體測量設備主要用于監測晶圓上膜厚、線寬、臺階高度、電阻率等工藝參數，實現器件各項參數的準確控制，進而保障器件的整體性能。橢偏儀主要用于薄膜工藝監測，基本原理為利用偏振光在薄膜上、下表面的反射，通過菲涅爾公式得到薄膜參數與偏振態的關系，計算薄膜的折射率和厚度。Flexfilm費曼儀器作為薄膜測量技術革新者，致力于為全球工業智造提供精準測量解決方案，公司自主

  半導體 測量 監測 1338瀏覽量

• 臺階儀測試原理及應用 | 半導體ZnO薄膜厚度測量及SERS性能研究2025-07-28 18:04

  

  表面增強拉曼散射SERS技術在痕量檢測中具有獨特優勢，但其性能依賴于活性基底的形貌精度。ZnO作為一種新型半導體薄膜材料，因其本征微米級表面粗糙度通過在其表面覆蓋一層貴金屬Au，能夠大大地提升SERS活性。而ZnO膜厚直接影響Au納米顆粒的分布與"熱點"形成。Flexfilm費曼儀器提供精準的膜厚測試，其中Flexfilm探針式臺階儀覆蓋納米至微米級薄膜的精

  半導體 測試 測量 870瀏覽量

• 全光譜橢偏儀在二維材料中的應用 | 解析PtSe?光學常數厚度依賴關系2025-07-25 18:02

  

  過渡金屬硫化物（TMDs）的厚度可調能帶結構使其在光電子領域備受關注。PtSe?作為新型層狀材料，具有從半導體到半金屬的相變特性，帶隙可調控。然而，其精確光學常數數據長期缺失，制約器件優化。橢圓偏振儀憑借亞納米級精度、無損測量及同步獲取膜厚與光學參數的優勢，成為解決該問題的關鍵手段。Flexfilm費曼儀器作為國內領先測量供應商所提供的Flexfilm全光譜

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• 汽車玻璃透光率檢測 | 制備高透光(Ag,Cu)/TiO?汽車玻璃隔熱膜2025-07-23 18:02

  

  汽車玻璃需在保證透光的同時高效隔熱，以應對太陽輻射引發的升溫、老化及能耗問題。其關鍵在于選擇性阻隔紅外和紫外光。現有隔熱膜研究對可見光平均透過率與隔熱性能的系統研究不足。Flexfilm費曼儀器在汽車工業領域從研發、生產到質檢的全流程中均有嚴格監控。本研究采用磁控濺射技術制備(Ag,Cu)/TiO?汽車玻璃隔熱膜，并利用Flexfilm汽車玻璃透過率檢測儀對

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• 半導體薄膜厚度測量丨基于光學反射率的厚度測量技術2025-07-22 09:54

  

  在半導體制造中，薄膜的沉積和生長是關鍵步驟。薄膜的厚度需要精確控制，因為厚度偏差會導致不同的電氣特性。傳統的厚度測量依賴于模擬預測或后處理設備，無法實時監測沉積過程中的厚度變化，可能導致工藝偏差和良率下降。為此，研究團隊開發了一種基于激光反射率的光學傳感器，能夠在真空環境下實時測量氧化膜（SiO?）、氮化膜（Si?N?）和多晶硅（p-Si）的厚度。FlexF

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• 半導體膜厚測量丨光譜反射法基于直接相位提取的膜厚測量技術2025-07-22 09:54

  

  在現代半導體和顯示面板制造中，薄膜厚度的精確測量是確保產品質量的關鍵環節。傳統方法如掃描電子顯微鏡（SEM）雖可靠，但無法用于在線檢測；橢圓偏振儀和光譜反射法（SR）雖能無損測量，卻受限于計算效率與精度的矛盾。近期，研究人員提出了一種創新方法——直接相位提取技術，成功打破了這一技術瓶頸。FlexFilm單點膜厚儀結合相位提取技術通過將復雜的非線性方程轉化為線

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• DLC薄膜厚度可精準調控其結構顏色，耐久性和環保性協同提升2025-07-22 09:54

  

  類金剛石碳（DLC）薄膜因高硬度、耐磨損特性，廣泛應用于刀具、模具等工業領域，其傳統顏色為黑色或灰色。近期，日本研究團隊通過等離子體化學氣相沉積（CVD）技術，將DLC薄膜厚度控制在20-80納米范圍內，首次實現對其結構色的精確調控。這一發現為材料的光學功能化提供了新方向。等離子體CVD裝置示意圖1結構色產生的物理機制flexfilm結構色由光的干涉效應主導

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