Flexfilm文章

• 臺階儀在機翼氣動性能中的應(yīng)用：基于NASA案例的表面粗糙度精確量化2025-11-14 18:12

  

  在風(fēng)洞試驗中，NASA接合流模型翼身接合處的流動分離現(xiàn)象是驗證計算流體力學(xué)模型的關(guān)鍵難題。為深入研究該問題，2022年測試階段重點聚焦于對稱翼型機翼的邊界層轉(zhuǎn)捩特性。計算分析表明，特定波長（3-5毫米）的表面粗糙度會顯著放大橫流不穩(wěn)定性，從而影響轉(zhuǎn)捩位置與形態(tài)。然而，模型機翼的實際粗糙度狀況及其對不穩(wěn)定性的具體影響尚不明確。Flexfilm探針式臺階儀可以實

  NASA 測量 424瀏覽量

• 橢偏光譜技術(shù)在VO?薄膜光誘導(dǎo)IMT中的應(yīng)用：瞬態(tài)介電函數(shù)的動力學(xué)路徑解析2025-11-12 18:02

  

  二氧化釩（VO?）作為一種強關(guān)聯(lián)電子材料，在約68°C時會發(fā)生絕緣體-金屬相變（IMT），并伴隨晶體結(jié)構(gòu)變化，這一現(xiàn)象使其在超快光子器件（如光開關(guān)和調(diào)制器）中具有巨大應(yīng)用潛力。然而，要實現(xiàn)對其光誘導(dǎo)相變的有效控制，必須深入理解其飛秒至皮秒尺度的超快動力學(xué)過程，而傳統(tǒng)探測手段難以直接獲取相變過程中材料光學(xué)性質(zhì)（如介電函數(shù)）的完整動態(tài)信息。Flexfilm全光譜

  IMT 光譜 489瀏覽量

• 臺階儀在鋁合金耐蝕性研究中的應(yīng)用：基于電流密度的MAO膜層結(jié)構(gòu)表征與性能優(yōu)化2025-11-10 18:03

  

  鋁合金因其低密度、良好的導(dǎo)電導(dǎo)熱性及易加工等優(yōu)點，廣泛應(yīng)用于汽車、航空航天等領(lǐng)域。然而，其較差的耐腐蝕性能嚴(yán)重限制了使用壽命和應(yīng)用范圍。為提升鋁合金的耐蝕性，微弧氧化（MAO）作為一種高效、環(huán)保的表面處理技術(shù)，近年來受到廣泛關(guān)注。該技術(shù)可在鋁合金表面原位生成結(jié)合力強、耐蝕性好的陶瓷氧化層。Flexfilm探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的

  電流 電源 553瀏覽量

• 穆勒矩陣橢偏儀：DVRMME技術(shù)的系統(tǒng)誤差建模與校準(zhǔn)補償2025-11-07 18:02

  

  雙渦旋延遲器穆勒矩陣橢偏儀（DVRMME）是一種先進的單次快照式全偏振測量技術(shù)。然而，其測量精度極易受到光學(xué)元件裝配偏差和器件缺陷引入的系統(tǒng)誤差影響。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜材料、半導(dǎo)體和表面科學(xué)等領(lǐng)域。本研究構(gòu)建了一個包含六個關(guān)鍵系統(tǒng)誤差參數(shù)（涉及起偏器、檢偏器及兩個渦旋延遲器的方位角與延遲量偏

  光學(xué) 測量儀器 3345瀏覽量

• 臺階儀表面輪廓測量國際標(biāo)準(zhǔn)：ISO21920與ISO4287的差異解析2025-11-05 18:02

  

  Flexfilm探針式臺階儀作為表面形貌測量的精密儀器，能夠依據(jù)最新的ISO21920系列標(biāo)準(zhǔn)實現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量。該設(shè)備通過高精度探針掃描技術(shù)，可精確測定樣品的表面臺階高度與薄膜厚度，為材料質(zhì)量控制和生產(chǎn)工藝優(yōu)化提供可靠的數(shù)據(jù)支撐。本文將系統(tǒng)闡述ISO21920-2:2021與舊版ISO4287:1996在表面輪廓分析標(biāo)準(zhǔn)方面的主

  ISO 測量 輪廓測量 1169瀏覽量

• 面向半導(dǎo)體量測的多波長橢偏技術(shù)：基于FDM-SE實現(xiàn)埃米級精度與同步測量2025-11-03 18:04

  

  隨著半導(dǎo)體芯片制造精度進入納米尺度，薄膜厚度的精確測量已成為保障器件性能與良率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。光譜橢偏儀雖能實現(xiàn)埃米級精度的非接觸測量，但傳統(tǒng)設(shè)備依賴寬帶光源與光譜分光系統(tǒng)，存在測量效率低、系統(tǒng)復(fù)雜且易受環(huán)境干擾等問題。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜材料、半導(dǎo)體和表面科學(xué)等領(lǐng)域。本研究提出了一種基于頻分復(fù)用

  FDM 半導(dǎo)體 測量 365瀏覽量

• 臺階儀校準(zhǔn)：材料測具的輪廓保真度與探針幾何形態(tài)2025-10-31 18:12

  

  在工業(yè)表面紋理測量領(lǐng)域，觸針式輪廓儀仍是最常用的測量工具。為確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性，需要定期使用ISO5436-1標(biāo)準(zhǔn)定義的材料測具進行校準(zhǔn)。這些校準(zhǔn)過程涉及探針與材料測具之間的機械接觸，在重復(fù)測量中可能引起磨損，進而影響校準(zhǔn)結(jié)果的可靠性。Flexfilm探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料質(zhì)

  材料 測量 605瀏覽量

• 橢偏儀在DRAM制造量測中的應(yīng)用：實現(xiàn)20mm×20mm超寬視場下晶圓級精準(zhǔn)監(jiān)控及提升良率2025-10-29 18:02

  

  隨著半導(dǎo)體器件特征尺寸持續(xù)縮小，局部結(jié)構(gòu)變化易影響電學(xué)性能甚至導(dǎo)致失效，對高空間密度、高吞吐量的先進計量技術(shù)需求迫切。但現(xiàn)有技術(shù)存在局限：光譜類技術(shù)（SR/SE/MMSE）需逐點測量，難以實現(xiàn)晶圓級快速計量；SEM分辨率高卻視場小，無法高效識別大范圍結(jié)構(gòu)變化；傳統(tǒng)成像類技術(shù)視場窄且穆勒矩陣組件利用不足。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射

  晶圓 測量 495瀏覽量

• 如何選擇臺階儀的觸針針尖？基于三維仿真與譜分析的選型標(biāo)準(zhǔn)研究2025-10-27 18:04

  

  臺階儀因其測量的直接性和數(shù)據(jù)的可追溯性，在表面形貌精密測量中始終占據(jù)關(guān)鍵地位。然而，其觸針的球狀針尖在掃描表面時，無法完全復(fù)現(xiàn)真實的峰谷結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致所測輪廓與實際輪廓存在差異，此現(xiàn)象被稱為“輪廓畸變”或“機械濾波”。Flexfilm探針式臺階儀可以實現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料質(zhì)量把控和生產(chǎn)效率提升提供

  三維仿真 儀器 測量 266瀏覽量

• 光譜橢偏儀入門指南：原理、方法與基礎(chǔ)應(yīng)用2025-10-24 18:09

  

  在材料科學(xué)和光學(xué)表征領(lǐng)域，精確獲取薄膜厚度與光學(xué)常數(shù)是理解材料性能的關(guān)鍵。然而，傳統(tǒng)測量方法往往面臨破壞樣品、精度不足或難以適用于復(fù)雜微觀結(jié)構(gòu)的局限。針對這一問題，光譜橢偏儀（SE）作為一種非侵入式光學(xué)技術(shù)，通過分析偏振光在反射或透射過程中發(fā)生的振幅比（Ψ）和相位差（Δ）變化，實現(xiàn)對表面、界面和薄膜的高精度表征。Flexf

  光譜 測試 957瀏覽量