Flexfilm文章

• 橢偏術精準測量超薄膜n,k值及厚度：利用光學各向異性襯底2025-12-08 18:01

  

  傳統橢偏測量在同時確定薄膜光學常數（復折射率n,k）與厚度d時，通常要求薄膜厚度大于10nm，這限制了其在二維材料等超薄膜體系中的應用。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應用于薄膜材料、半導體和表面科學等領域。本研究提出一種新方法：利用各向異性襯底打破橢偏分析中n,k,d的參數耦合。模擬結果表明，該方法可在單次測量中

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• 臺階儀的原理及常見問題解答2025-12-05 18:04

  

  表面特征是材料、化學等領域的重要研究內容。準確評價表面形貌與特征，對材料性能分析、工藝改進具有重要意義。臺階高度測量在表面研究中作用突出：一方面可用于分析微觀形貌，另一方面在半導體制造等工業中涉及大量臺階檢測需求。臺階高度是薄膜工藝中的關鍵參數，其精確、快速測定與控制是保障材料質量、提升生產效率的重要手段。因此，表面線條寬度、間距、臺階高度、粗糙度的測量，以

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• 光譜橢偏術在等離子體光柵傳感中的應用：參數優化與亞皮米級測量精度2025-12-03 18:05

  

  基于衍射的光學計量方法（如散射測量術）因精度高、速度快，已成為周期性納米結構表征的關鍵技術。在微電子與生物傳感等前沿領域，對高性能等離子體納米結構（如金屬光柵）的精確測量提出了迫切需求，然而現有傳統光學模型（如有效介質近似）往往難以準確描述其復雜的光學響應，這限制了相關器件在尺寸計量與高靈敏度傳感中的應用。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與

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• 基于光學成像的沉積薄膜均勻性評價方法及其工藝控制應用2025-12-01 18:02

  

  靜電噴涂沉積（ESD）作為一種經濟高效的薄膜制備技術，因其可精確調控薄膜形貌與化學計量比而受到廣泛關注。然而，薄膜的厚度均勻性是影響其最終性能與應用可靠性的關鍵因素，其優劣直接受到電壓、流速、針基距等多種工藝參數的復雜影響。傳統均勻性評估方法往往效率較低或具有破壞性，難以滿足快速工藝優化的需求。Flexfilm探針式臺階儀可以實現表面微觀特征的精準表征與關鍵

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• 光譜橢偏儀SE和紫外光譜UV在瀝青膠結料性能表征及老化評估研究2025-11-28 18:03

  

  瀝青路面是全球道路網絡的主要構成部分，但其在使用過程中會持續受到交通荷載、溫度變化、氧化老化和紫外線輻射等多種環境與機械應力的侵蝕。這些因素導致瀝青結合料逐漸硬化、開裂，嚴重損害路面的服役性能與使用壽命。然而，傳統上依賴流變學或經驗性指標的表征方法，往往難以捕捉到瀝青在分子和微觀尺度上的早期老化與降解過程，從而限制了對其性能衰變機制的深入理解和有效預測。Fl

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• 臺階儀在Li?O-Al?O?-SiO?光敏微晶玻璃微結構制備中的應用2025-11-26 18:03

  

  隨著三維集成封裝（3DIC）技術的發展，傳統轉接板材料在高頻、高密度封裝中的性能瓶頸日益凸顯。鋰鋁硅（Li?O-Al?O?-SiO?）光敏微晶玻璃因其優異的光敏性、高頻介電性能和可控微納加工能力，成為新一代轉接板材料的理想選擇。Flexfilm探針式臺階儀可以實現表面微觀特征的精準表征與關鍵參數的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料質量把控和生

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• 新型橢圓偏振法SHEL在納米尺度面積表面測量的應用2025-11-24 18:02

  

  納米技術的發展催生了從超光滑表面到復雜納米結構表面的制備需求，這些表面的精確測量對質量控制至關重要。然而，當前納米尺度表面測量技術面臨顯著挑戰：原子力顯微鏡（AFM）測量速度慢、掃描面積有限；掃描電子顯微鏡（SEM）可能損傷樣品；白光干涉儀（WLI）則受限于橫向分辨率和參考面需求。傳統橢偏儀雖能通過分析偏振態變化間接表征表面，但其依賴旋轉光學元件的設計易引入

  顯微鏡 材料 測量 2634瀏覽量

• 寬波段大角度光譜橢偏技術：面向多層膜表征的光柵-傅里葉系統2025-11-21 18:07

  

  隨著半導體和光電子技術的快速發展，紫外至紅外波段的薄膜材料應用日益廣泛，而薄膜厚度、折射率等參數的高精度測量對器件性能至關重要。然而，現有光譜橢偏技術難以同時實現紫外至中紅外的寬波段覆蓋與大角度測量，限制了其在多種材料表征中的應用。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應用于薄膜材料、半導體和表面科學等領域。本研究提出了

  光譜 半導體 材料 330瀏覽量

• NIST研究院：表面粗糙度與臺階高度校準規范2025-11-19 18:02

  

  在表面形貌的精密測量中，確保不同儀器與實驗室間測量結果的一致性與可信度，始終是一項關鍵挑戰。為應對該挑戰，本文檔系統闡述了NIST所采用的校準流程、測量條件及完整的不確定度評估方法，為表面粗糙度與臺階高度的精確計量提供了技術依據與權威支撐。Flexfilm探針式臺階儀可以實現表面微觀特征的精準表征與關鍵參數的定量測量，精確測定樣品的表面臺階高度與膜厚，為材料

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• 基板效應下OLED有機薄膜的折射率梯度：光譜橢偏法的精確表征與分析2025-11-17 18:05

  

  有機發光二極管（OLED）的性能優化高度依賴對其組成材料光學常數（特別是復折射率）的精確掌握。然而，當前研究領域存在顯著空白：現有光學數據往往局限于少數特定材料或窄光譜范圍，且缺乏系統性的基板影響研究。這種數據匱乏嚴重制約了研究人員在材料選擇和器件設計時做出充分知情的決策。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應用于薄膜

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