近日，由蘇州納米科技發展有限公司與日本愛發科（ULVAC）共建的PZT壓電薄膜MEMS器件聯合實驗室落戶蘇州納米城，雙方將共同推動PZT壓電薄膜材料在MEMS器件制造領域的應用。日本愛發科株式會社代表取締役執行役員社長巖下節生，蘇州工業園區黨工委委員、管委會副主任孫燕燕等出席簽約儀式。

PZT壓電薄膜材料可減小MEMS芯片面積、簡化生產工藝、提高制造良率、降低生產成本，日本愛發科是該材料生產設備的全球引領者。建設“PZT壓電薄膜MEMS器件聯合實驗室”，將有利于壯大蘇州工業園區MEMS產業實力，也有利于加快中國MEMS企業創新步伐。

巖下節生在簽約儀式上表示，愛發科與蘇州工業園區之間有著深厚的互信和友誼，也得到了蘇州工業園區的大力支持，十年來已有三個重大項目落戶于此。愛發科非常感謝蘇州工業園區一直以來的幫助和支持。我們對此次共建聯合實驗室充滿信心。

納米技術應用產業是蘇州工業園區的區域戰略性產業，截至2018年底，蘇州工業園區集聚590多家納米企業，產值突破660億元，也被譽為全球納米創新資源最集聚的八大區域之一。MEMS產業是“中國芯”有望取得突破的關鍵領域之一，是納米技術應用產業的重要細分領域，也是蘇州工業園區推進產業高端化、加快發展動能轉換的重要領域。

孫燕燕致辭時表示，開放創造機遇，合作帶來共贏，蘇州工業園區近年來，堅持把科技創新作為區域發展的核心戰略，堅持在全球范圍配置創新資源，構建開放型創新體系，優化完善創新生態圈，積極構筑納米產業先發集群優勢。日本愛發科、巖下節生社長都是蘇州工業園區的老朋友，希望雙方以此次簽約為契機，不斷深化開放創新的水平，使PZT壓電薄膜MEMS器件聯合實驗室成為中國MEMS產業的新地標，進一步促進中日兩國科技交流與合作。同時，我們將積極構建國際一流營商環境，以更有溫度的服務、更大力度的支持，助力MEMS產業實現跨越發展。

據了解，MEMS中試平臺是中國首條市場化、全開放、工業級的6英寸微納機電制造中試線，是國內工藝能力最全、流片產品最多的公共服務平臺。在該平臺的帶動下，蘇州工業園區已成為中國MEMS產業第一園，集聚了一批MEMS創新企業，五家企業位列全國MEMS十強。