近日，2019慕尼黑上海電子展（以下簡稱：慕展）盛大開幕。作為國內電子行業最重要的盛事，慕展已成為國內外企業在中國首度發布新品的舞臺。麥姆斯咨詢的小編們穿梭于各個人頭攢動的展館，探訪各家廠商的MEMS和傳感器新品。除了以博世為代表的MEMS龍頭企業帶來的驚喜之外，令人贊嘆的是，更多視覺傳感器產品的推出，讓小編真真切切地感受3D傳感和成像的熱度持續升溫！

面向可穿戴的超低功耗智能IMU、面向汽車導航的新型IMU @ 博世（Bosch）

博世洞察物聯網（IoT）市場尤其是智能家居和可穿戴應用發展趨勢，近幾年在高性能慣性測量單元（IMU）推陳出新。在本次慕展上，博世發布了專為可穿戴應用打造的超低功耗智能慣性測量單元BMI270。

BMI270采用最新博世MEMS工藝技術，大大提高了加速度計的偏移和靈敏度性能。結合了在汽車應用中久經驗證的陀螺儀和獲得顯著改進的加速度計。博世獨特的靜止組件重新調整（CRT）功能提供內置陀螺儀自校準功能，無需旋轉激勵，從而為原始設備制造商在測試和制造過程中節省寶貴的時間和成本。BMI270的嵌入式即插即用功能有助于大幅縮短產品上市時間。

超低功耗智能IMU：BMI270，專為腕帶式可穿戴應用設計

作為超低功耗IMU，BMI270通過處理多個活動跟蹤、計步和手勢識別功能來延長系統電池壽命，獨立于主系統處理器，無需將其喚醒。這些獨立于處理器的功能包括諸如在達到一定步數時發送中斷，或在用戶站起來并開始行走時通過地理圍欄激活GPS等任務。因此，在超低功耗域運行強大而準確的手勢和活動識別功能，電流消耗僅為30μA。這顯著降低了功耗，用戶可以從延長的電池充電時間間隔中受益。

BMI270有兩種應用特定型版本。“手勢”版本可檢測手勢，包括輕彈進/出，手臂上/下和手腕傾斜。此版本為Wear OS by Google系統所設計，確保為最終用戶提供簡便快捷且功能豐富的體驗。“上下文和活動”版本具有用于識別上下文活動和活動改變的高級功能，例如站立、行走或在車輛中。BMI270的尺寸僅為2.5 mm x 3.0 mm x 0.8 mm，與BMI160、BMI260、BMI261和BMI263引腳兼容。

BMI270可識別背景環境和活動變化

為汽車在GPS信號弱的環境下正常導航應用而誕生的六軸IMU：SMI230，在單個緊湊的封裝中精巧地集成了一顆三軸MEMS加速度計及一顆三軸MEMS陀螺儀。兩顆傳感器采用16比特數據傳輸。在強大的組合基礎上，陀螺儀和加速度計既可以單獨運行，也可以為數據同步協同運行。陀螺儀的噪聲僅為0.02°/s/√Hz (rms)，加速度的噪聲僅為0.12 mg/√Hz (rms)。同時，加速度計擁有可靠的溫度穩定性，一般為0.2 mg/K的低TCO（偏移溫度系數）以及僅為0.002 %/K的TSO（靈敏度溫度系數）。一般情況下陀螺儀的累計偏差低于2°/h。SMI230還支持三種節能模式：加速度計：掛起模式；陀螺儀：掛起模式和深度掛起模式。

六軸IMU：SMI230

在駕駛中，GPS信號的丟失通常會導致很多輕松愉悅的自駕旅行掃興，這款新六軸慣性傳感器SMI230提供支持運動數據的導航系統，車輛的當前位置在GPS信號較弱或丟失的情況下仍然可以確定。導航系統將變得更加精確可靠。據博世介紹，這款六軸慣性傳感器將于2019年5月正式面向大眾供貨！

第三代Triaxis霍爾位置傳感器、單芯片汽車級VGA ToF圖像傳感器 @ 邁來芯（Melexis）

慕展首日，Melexis（邁來芯）公司在全球首發最新的第三代Triaxis霍爾位置傳感器：MLX90374。

第三代Triaxis霍爾位置傳感器MLX90374演示板

MLX90374基于Melexis專有的3D霍爾傳感技術，可測量移動磁鐵的絕對位置，包括360o 旋轉角度和線性位移。這些功能通過集成于單芯片解決方案的磁性前端、ADC和DSP得以實現，該芯片還搭載有適用于選配外部傳感器的溫度傳感器和信號調節模塊。單片MLX90374具有兩個可獨立配置的輸出級，其中主輸出以SENT或PWM編碼位置數據，次級輸出以12位PWM信號編碼提供位置數據。MLX90374 ABB的次級輸出也可用作帶有可編程閾值的開關信號，MLX90374 ABC版本還添加了同樣可配置為開關的第三路輸出。每路輸出均由片上DSP供電，以片上磁場數據或外部傳感器輸入作為數據源。

MLX90374提供單芯片表面貼裝 SOIC-8 封裝和單芯片無PCB DMP-4封裝，工作溫度范圍提升至-40℃至+160℃。符合ISO 26262 ASIL C (SEooC)標準，最高+160℃的工作溫度范圍以及更低的熱漂移，是變速器檔位選擇（TRS）感應或抑制開關等汽車應用的理想選擇。MLX90374還可用于檢測踏板、方向盤位置或者座椅高度，也可用于傳動系統中。

同時，Melexis在展會現場還展示了首款面向汽車內部和外部監控等應用的單芯片汽車級VGA 飛行時間（ToF）圖像傳感器MLX75027。MLX75027是片上系統（SoC）解決方案，在單一BGA封裝中提供 VGA（640 x 480像素）分辨率的3D傳感及處理功能。

Melexis單芯片汽車級VGA ToF圖像傳感器MLX75027的現場演示

MLX75027使用調制光源和光學飛行時間傳感功能創建車艙三維圖像，可提供對車內人員和物品的監控，并具有手勢檢測功能。該傳感器也可集成至碰撞預警和導航應用中，如檢測車外空間和障礙物以及行人等。MLX75027工作溫度范圍為-40℃至+105℃。

強化駕駛員監測系統的全局快門圖像傳感器 @ 意法半導體（STM）

“推動汽車應用智能化”是意法半導體在本次展會的主題之一，在此次展會上展出了兩款全局快門圖像傳感器：VG5661和VG5761。通過控制攝像機補光燈拍攝場景影像，避免太陽光、路燈等無法預測的外界因素影響畫質，強化汽車系統對駕乘人員的監測能力。無與倫比的畫質可提高駕駛員監測系統的響應速度，尤其在使用波長接近940nm的近紅外光源補光時靈敏度更高，并且可以實現新功能，例如：評估駕駛員注意力、乘客舒適度或兒童行為。新傳感器嵌入了意法半導體的汽車全局快門技術，即使在高動態范圍模式下也能大大降低補光功耗。

意法半導體全局快門圖像傳感器VG5761

意法半導體“推動汽車應用智能化”體驗吸引了很多觀眾

意法半導體的全局快門圖像傳感器VG5661和VG5761的分辨率可達160萬像素和230萬像素，不同于每次一行連續直接讀取像素數據的卷簾快門，全局快門同時捕獲所有像素的數據。VG5661和VG5761采用標準BGA封裝或直接集成到量產汽車OEM系統的裸片，符合AEC-Q100 2級標準，并包含汽車安全標準ISO 26262規定的ASIL-B攝像系統需具備的復雜安全完整性功能。

1D ToF傳感器、用于激光雷達的VCSEL @ 艾邁斯半導體（ams）

艾邁斯半導體（ams）在展會上向觀眾傳遞著“傳感創造智能生活”的訊息。1D ToF傳感器、用于激光雷達的VCSEL等核心元器件則在智能手機和自動駕駛等領域書寫著令人驚嘆的故事！

1D ToF傳感器TMF880配備VCSEL發射器，采用高靈敏度的單光子雪崩二極管（SPAD）進行探測，可識別20~250cm范圍內的人臉，即可觸發臉部識別系統操作，且在環境昏暗的情況下依然可以使用。帶鏡頭的模塊化OLGA封裝，尺寸僅2.2 mm x 3.6 mm x 1.0 mm。

ams推出的1D TOF傳感器TMF880檢測距離可達2.5m

ams在激光雷達領域布局全面，核心器件包括單光子雪崩二極管（SPAD）陣列、AFE（通道數可定制）、TDC芯片。早在2017年，ams以現金收購垂直腔面發射激光器（VCSEL）領先供應商Princeton Optronics公司100%股權。本次展會上，ams展示了對激光雷達的理解：激光雷達為了獲得較遠的探測距離，需要較高功率的激光源。ams獨特的VCSEL陣列功率非常大，最重要的是，ams提供的解決方案可以幫助激光雷達廠商顯著減小產品的尺寸，降低成本。據現場技術人員介紹，ams已經和激光雷達廠商合作，讓我們期待成熟產品的誕生！

ams用于激光雷達的VCSEL陣列演示

兩款Argus系列3D相機 @ 知微傳感

西安知微傳感在MEMS微振鏡領域有著十余載研發經驗，是國內首家采用激光動態結構光方案的工業3D相機廠商。在此次展會中展示了完全自主開發、極具性價比的Argus系列3D相機。繼去年9月在『第二十四屆“微言大義”研討會：3D視覺技術及應用』發布Argus100之后，知微傳感再次推出了工作范圍更廣的Argus100L以及更高幀率的Argus120產品。

Argus100L是一款基于MEMS微振鏡的具備大景深和高精度的產品，工作景深可以從幾十厘米到3米多，在2米工作距離內精度優于0.9mm。分辨率達到1280 x 1024像素，在物流行業的拆碼垛、包裹尺寸測量以及工業3D bin-picking中被廣泛應用。

大景深和高精度的3D相機Argus100L

同時展示的另一款新品Argus120的亮點則是高幀率、高精度，精度同樣可以到亞毫米級，但幀率提升到了15Hz，目標應用為人臉識別、3D bin-picking等場景。

高幀率、高精度3D相機Argus120

彎曲傳感器、三軸高精度MEMS傾角傳感器 @ 村田（Murata）

村田（Murata）在本次展會的主題為“馭見C.A.S.E.制造，智享安心未來”，村田攜帶了在自動駕駛汽車領域研發出的具有超高競爭優勢的產品來參展，其中引人注目的兩款產品為彎曲傳感器和MEMS傾角傳感器。

彎曲傳感器是可應用于方向盤的概念性產品，能精確地可檢測肌肉振動的超薄型、高速響應的高靈敏度壓電陶瓷型傳感器。通過識別生物負荷和肌肉振動，可提高觸摸檢測的可靠性并防止錯誤操作，并可區分到底是人的接觸還是物體的接觸。即使是在發動機運轉及車輛行駛時，在高信噪比下也可以判斷人握住了方向盤，而不受方向盤振動的影響。

村田展出的兩款產品：彎曲傳感器和MEMS傾角傳感器

本次展出的MEMS傾角傳感器是村田一款新型三軸傾角傳感器SCL3300系列器件，在2018年11月德國慕尼黑電子展上首展，這次也帶來了慕尼黑上海電子展一同展出。該器件可適于包括水平儀、傾斜傳感、機器控制、結構健康監測、IMU、機器人和定位導航系統等各種要求在內的苛刻應用。出樣的SCL3300-D01基于村田經過驗證的3D-MEMS傳感技術，是一款三軸（XYZ）測斜儀，可用于針對不同應用及其要求優化傳感器性能。高度集成的器件包括用于信號處理的混合信號ASIC以及靈活的數字接口，無需外部ADC，從而減小了尺寸、功耗和設計復雜性。SCL3300-D01在傳感器內部具有復雜的傾斜角度轉換功能，可實現簡單而強大的應用軟件，并減少所需的工程工作，同時還具有先進的自診斷功能。據展出人員透露，該產品計劃本季度開始量產。

村田新型三軸MEMS傾角傳感器

雙引腳數字輸出型溫度傳感器 @ 納芯微

納芯微在本次慕展上帶來了眾多新品。可直接替換NTC的雙引腳數字輸出型溫度傳感器NST1001則是其中一款。NST1001是一款高精度雙引腳數字輸出型溫度傳感器芯片，具有脈沖計數型數字輸出以及在寬溫度范圍內高精度的特性，可直接與MCU連接使用，保障測量精度的同時降低MCU開銷并減少成本。NST1001的測溫范圍為-50°C到150°C，滿足冷鏈運輸、糧情監測、家用電器、工業物聯網等場合對溫度的要求。相較于傳統的NTC熱敏電阻，NST1001具有更簡單、更精確、更穩定的特性。NST1001的另一大特點為僅有兩個引腳：GND和DQ，使用時可直接替換傳統NTC電阻而無需變更外圍電路。

高精度雙引腳數字脈沖溫度傳感器NST1001（左）和高精度單總線數字溫度傳感器NS18B20（右）

另一款溫度傳感器NS18B20為首次展出，其測溫范圍為-55°C 到+125°C，在全溫度范圍內最大誤差為±1.5°C，可廣泛應用在環境監測，溫度控制等應用中。

耐受嚴苛環境的工業壓力傳感器 @ 泰科電子（TE）

泰科電子展出了最新的壓力傳感器M3200，專為液壓和氣動系統而設計，能耐受嚴苛環境，即使在諸如污水、蒸汽、有輕微腐蝕的流體介質內，依然保持優秀性能。該產品結構緊湊，耐振動、耐沖擊、抗電磁干擾性能優異。值得一提的是，M3200壓力傳感器具有模擬或數字輸出，可靈活應對客戶的不同應用場景。

壓力傳感器M3200能耐受各種嚴苛環境

泰科電子專有的Microfused 技術來源于要求嚴苛的航空航天應用，該技術利用高溫微熔玻璃將微機械加工壓阻式硅應變片黏貼在不銹鋼隔離膜上。可選的壓力量程介于 0~100 至 5000 PSI（0~7 bar至0~350 bar）之間。精度為±0.25 % FS BFSL。

以上是麥姆斯咨詢在2019慕尼黑上海電子展上探訪到的MEMS和傳感器新品。限于篇幅和時間，可能會有遺漏。如果您有更有趣的傳感器新品，請聯系麥姆斯咨詢王懿，郵箱：wangyi@memsconsulting.com。

最后，小編也透露一下，2019年麥姆斯咨詢規劃了三場以“視覺傳感器技術及應用”為主題的研討會，分別針對消費類（如智能手機、VR/AR等）、工業和機器人（如工業檢測、貨品堆垛、無序分揀、AGV等）、自動駕駛（如激光雷達）的研討會。