集成電路現今所達到的技術高度是當初人們難以想象的。在發明集成電路的1958年.全世界半導體廠生產的晶體管總數為4710萬個,其中包括210萬個硅晶體管,其余為鍺晶體管?，F今一個普遍應用的千兆位DRAM存儲器芯片中,所包含的晶體管數量就是這個數目的數百倍。1971年Intel公司研制成功的第一個微處理器芯片上有2300個MOS晶體管,其運算速度為6萬次/秒。而現在筆記本計算機中普遍應用的微處理器芯片內含數以億計的晶體管,其工作頻率可達數千兆赫。

硅微電子技術何以取得如此巨大進步呢?分析集成電路60余年的發展歷程,可以看到有兩個基本規律推動著集成電路技術的持續快速進步。一是器件微小型化規律,也就是器件按比例縮微原理;另一個是集成電路指數增長規律，也就是著名的摩爾定律(MooreLaw)。摩爾定律既反映作為數字化信息基礎的器件技術進步特點,也反映集成電路產業演進的經濟發展特點。概括地講，器件微小型化是主導集成電路技術演進的技術規律,摩爾定律則是主導集成電路產業發展的經濟規律;前者是集成電路制造技術持續快速創新之路.而后者則是集成電路產品及市場持續快速擴展之路。這兩個客觀規律反映了集成電路發展具有強烈技術驅動和市場牽引,兩者密切結合造就了當代微電子技術持續迅速發展的奇跡。

1.3.1 器件微小型化規律按比例縮微原理

器件微小型化是集成電路技術進步的關鍵與內在動力。表1.1所列硅集成電路工藝特征尺寸在1970一2014年間的演變，有力地證明這一突出特點。提高集成密度是集成電路技術進步的首要目標。表1.1展示,隨著加工工藝特征尺寸縮微，集成電路典型產品之一動態隨機存儲器(DRAM)的存儲容量呈幾何級數上升。1970年以當時的10pm加工技術研制成功1千位DRAM,而在35年后的2005年，用80~90 nm工藝,已經可以生產1千兆位DRAM存儲器。器件尺寸縮小100余倍,集成度增長100萬倍。在集成電路發明初期,其中一個晶體管所占面積在平方毫米量級，現今先進集成電路芯片中一個晶體管所占面積可縮小到0.1m2以下，面積縮小1000萬倍以上。目前DRAM器件密度每平方厘米超過1千兆位，微處理器芯片集成密度可達每平方厘米數億個晶體管。2017年IEDM會議上Intel公司發布的10nm高性能、低功耗邏輯芯片中，晶體管密度達1億/平方毫米。雖然自20世紀90年代中期以來隨著制造技術升級換代，VLSI器件集成度與速度等功能呈指數式增長，但歷代DRAM和MPU成熟產品的芯片面積基本相近,甚至有所減小,以求提高成品率與降低成本。DRAM存儲器自數十兆位至數千兆位產品，芯片面積一直約為1cm2，MPU芯片面積也一直在1~2cm2范圍。可以簡略地說，集成電路是"以小求大"的技術。因此，集成電路技術在以"超大"、"甚大"等越來越大詞語形容的同時，也常以"微米"、"亞微米"、"深亞微米"、"90、65、45、32、22、14、10...納米"等越來越小的尺寸為標志?，F今集成芯片能造技術已進入亞10nm,甚至亞5nm器件結構與工藝研究開發的新階段。

單元器件尺寸縮微，不僅提高芯片集成度,還可以全面提高集成電路的各種性能和功能。圖1.4顯示器件微小型化與集成電路各種性能之間的密切關系。單元器件尺寸越小,集成電路的傳輸速度就越快。邏輯芯片晶體管的本征延時從早期10-s量級，已縮短至10-12s及更小的量級。越來越多和越來越快的晶體管集成在芯片上，就使集成電路具有越來越強的功能。器件尺寸縮圖1.4 器件微小型化集成電路迅速進步之源小和集成度提高還可導致晶體管功耗降低和電路可靠性上升。單元器件微小型化與硅片直徑增大，必然有利于提高集成電路生產效率和降低芯片生產成本。以300mmm硅片上65 nm工藝技術為例,單一硅片上制造的晶體管數量可高達數千億，其單一芯片的價格就可能比上一代技術產品降低。由器件尺寸縮微產生的這些變化，又為集成電路擴展應用開拓日益寬廣道路。因此,持續不斷地實現單元器件微小型化，就成為集成電路技術的"多快好省"發展之路。毫不夸張地說，集成芯片技術是以小求大、以小求快、以小求精、以小求廣的高技術。

MOS器件按比例縮微原理是實現器件微小型化的主要依據。1974年IBM公司的Dennard等人提出這一原理[。如果MOS晶體管的幾何尺寸都按一定比例縮小，按相同比例降低電源電壓，并相應調節襯底摻雜濃度,則器件的集成度、速度等性能將按比例提升，而電場強度和功耗密度可以保持不變。雖然雙極型器件由于pn結的導通閾值電壓值基本恒定,與MOS器件顯著不同,但尺寸縮微也同樣可使集成度增加、速度增快。器件尺寸縮小也必然導致產生許多影響其性能的新效應(如短溝道效應、熱電子效應等)，以及一系列工藝和材料難題,但通過器件物理研究和制造工藝技術創新、器件設計優化,能夠不斷研制性能優異的更小晶體管和功能更強的集成芯片。

集成電路進入納米CMOS發展階段后,器件縮微規律發生變化。此前至0.1um技術代,集成電路芯片一直按照傳統縮微途徑，即Dennard等人闡述的按比例縮微規律,逐步升級換代。芯片集成度與性能提高幾乎完全依賴于尺寸縮微。納米CMOS器件縮微則更加需要由材料、結構創新促成的等效縮微技術，以提高溝道載流子遷移率、增強柵介質電容耦合效應等器件性能。應變溝道技術、高k介質與金屬柵工藝、多柵立體結構晶體管等,先后為納米CMOS集成電路芯片縮微技術注入新活力。

1.3.2 集成器件指數增長規律摩爾定律

美國著名集成電路科學家和企業家G.Mo0re博士早在1965年,曾根據19591965年間統計數字,總結出一個集成電路發展趨勢的規律:單個集成電路芯片上所包含的晶體管數目每過1年就會增加1倍,而每個晶體管的成本下降約一半。這就是著名的摩爾定律的最初表述[18]。后來根據實際情況變化,摩爾定律的表述改為每18個月或每兩年集成度增長1倍?；仡櫡治?965年以來半個多世紀半導體產業變化,集成電路的演變確實展現了這一規律。摩爾定律實質上說明集成電路發展遵循指數增長規律。實際上，歷史上許多新興技術產品,在一定發展階段往往都以某種指數規律增長。集成電路的獨特之處在于，其發展變化速度之快,持續時間之長，及其應用范圍擴展、滲透、影響之廣，在現代技術發展歷史上很難找到與之可比者。

摩爾定律反映了集成電路技術的快速發展,其根源在于集成電路應用迅猛擴展所形成的強烈市場牽引。隨著集成電路技術進步而迅速發展的計算機、通信互聯、自動化、數字化多媒體、人工智能等電子信息產業,又推動半導體技術不斷升級換代,提供集成度更高、速度更快、可靠性更好、功能更強的集成電路產品。以硅存儲器芯片為例,1967年研制成功64位MOS存儲器,為半導體存儲器替代此前普遍應用的磁芯存儲器開辟了道路。此后一代又一代更高密度存儲芯片面世，現今已可提供千兆位存儲器芯片，在各種電子設備中得到越來越普遍的應用。硅微電子技術不斷提供的多種多樣的集成電路創新產品,促使數字化技術越來越廣泛應用到經濟、文化、科技等各種領域

摩爾定律與器件微小型化密切相關,其技術基礎正是器件按比例縮微原理。圖1.5以40年間集成芯片實際演變數據,揭示這兩個影響微電子技術進步規律之間的內在關系。該圖依據Intel公司發布的數據[19]，顯示1971一2010年間微處理器芯片集成度與工作頻率隨器件最小工藝尺寸的變化。在器件特征40年間源于工藝技術持續進步，促使單元尺寸器件尺寸縮微，由10pm逐步減小到32nm,從而使微處理器產品持續升級換代,經歷約20代變遷，芯片集成的晶體管00數由2.3X103個增加到約1.2X109個，10工作頻率由約1.1X10H2上升到約3.5X109Hz。同一期間DRAM存儲容量由4千位逐步上升到4千兆位，集成度提0.1高100萬倍。正是由于器件微小型化,促使產品性能持續提高與相對價格不斷下降,從而造就了集成電路日益增長的廣泛應用和市場擴展。在集成電路技術發展中,新技術、新產品的研究開發、生產、應用和市場擴展之間存在著強烈正反饋互動作用。器件微小型化原理與摩爾定律相結合，促使集成電路性能/價格比呈指數式大幅度增長，這可以說是微電子技術發展模式的突出特點,因而引發電子信息技術革命。對于器件縮微原理及相關因素，本書第7章將作進一步討論。

硅集成電路技術的活力，不僅在于其性能和功能迅速增長，還在于其性價比大幅提升。步討論單個晶體管的平均價格持續下降,每5年降低約一個數量級，1968年約為1美元，1998年降到了10美元。往往新一代集成電路在進入大批量生產后，其成熟產品市場價格就逐漸下降到與上一代產品相近的水平，即平均單個晶體管價格下降速率幾乎與集成度的上升速率相近,因而使集成電路產品得到越來越廣泛應用。所以,在集成電路發展道路上，有如存在一種內在的"反通貨膨脹規律"，形成微電子技術演進與經濟發展的良性互動態勢。集成技術產品具有先進性和普及性的雙重屬性,每一代集成芯片總是始于電子產品創新，終獲普及應用。器件縮微技術進步造就集成芯片升級換代，單元器件成本下降導致集成芯片性價比上升,兩者正是摩爾定律相互關聯的基本內涵。

近年器件縮微受到多種材料與工藝難題限制,納米CMOS集成芯片升級換代步伐趨緩。在這種背景下人們對摩爾定律是否仍在起作用議論紛紛。有人提出，摩爾定律已止于28nm技術代[29]。這種觀點認為,雖然28nm技術代之后，應用立體多柵晶體管等新技術，集成芯片繼續升級,晶體管集成度仍在倍增,但器件可比制造成本已轉為上升，因而已偏離摩爾定律的基本內涵。持此觀點者依據成本計算認為，在二維晶體管集成芯片升級換代演變中,晶體管制造成本持續顯著下降,自90nm至28 nm,每百億門電路成本由4.01美元降到1.30美元，而自22nm開始到7nm技術代的立體多柵集成芯片，晶體管制造成本轉為逐代上升,每百億門電路成本由1.42美元可能逐漸增加到1.52美元[29]。但也有研究者認為，立體柵器件集成芯片縮微技術仍具有提高性價比潛力。應更全面地分析摩爾定律的歷史與趨勢。實際上，作為概括集成電路產業發展特點的一種經濟規律，總是隨著集成電路與信息產業演變而變化。近年提出的"More Moore"(MM)和"More than Moore"(MtM)，就是為了適應縮微技術難度上升而擴展市場需求，促進半導體技術與產業多向演進的新業態。