介觀物鏡，因其具有復雜的光學結構和出色的像差優化，可以實現高NA和超大成像 FOV，顯著提高光學顯微鏡成像通量的特點而被人們熟知。

介觀顯微物鏡可用于廣域成像系統、激光共焦掃描成像系統和雙光子成像等系統，具有重要的研究意義。

本文介紹了一種用D7點衍射激光干涉儀測量介觀顯微物鏡的檢測方案，

具體方案如下圖所示：

01

光源部分

1. D7系統的光源為連續波(CW)單模(SLM)激光器：具有不同波長的相干性，覆蓋了激光器的工作光譜范圍包括:480 nm, 532 nm, 633 nm, 830 nm, 1030 nm。

2. 激光器是光纖耦合的，可以通過光纖插入到D7主機插座上選擇單元。

3. 所有的激光器都是永久插入，光源選擇可以從一種波長切換到另一種波長。可選波長范圍為VIS和NIR范圍，或為每個波長。

02

測試參數及準確性部分

1. 測試參數包括波前通過視場，通過光譜范圍(從可見光到近紅外)，孔徑像差-球面像差，彗差，像散;場像差-失真，場曲率;色差-波前色差，橫向和軸向色差等。

2. 通過物鏡、針孔單元和D7干涉儀的精確線性運動來測試視場。

3. 檢測精度如下表所示：

03

畸變校正

1. DifroMetric軟件導出/導入數據傳輸為標準光學設計軟件(ODS)。

2. 物鏡的測量像差可用澤尼克條紋系數表示。

3. 實測像差系數CFZM可與設計系數CFZD進行數據比較，DifroMetric和光學設計軟件之間可交互作用。

4. 比較的結果有助于選擇參數包括-氣隙，或其他參數，這對于在裝配過程中對待測件位置的調整有重要作用。

04

D7系統的優點

1. 測試介觀物鏡不需要參考鏡。

2. 測試介觀物鏡可在全光譜范圍VIS + NIR下進行。

3. D7可以選擇不同的工作波長范圍。

4. D7系統可以提供廣泛的參數測量包括全視場(FOV)波前以及所有類型的像差:孔徑像差，視場像差，還有色差等。

5. D7系統與DifroMetric軟件可以測量調制傳遞函數(MTF)以及光學傳遞函數(OTF)。

6. DifroMetric軟件的導出/導入數據傳輸兼容一種標準的光學設計軟件(ODS)的Zemax, CODE V, Oslo或其他可用于糾正物鏡像差的軟件。

7. 對待測件口徑兼容性強，孔徑較大(NA=0.9)和視場較小(0.1 mm)的物鏡都可以使用。

05

結論

1. D7系統可以綜合表征性能:a)在工作光譜范圍內的介觀物鏡的性能參數b)提出改進建議并模擬未來樣品在成像系統的性能參數。

2. 對介觀物鏡的測量精度超過物鏡本身的精度水平，并覆蓋其整個視場。測試精度比參數值高5 - 10倍。

3. 使用D7系統可以保證客觀分析的完整，從而證明其完善性成像特性。

關于Difrotec

Difrotec是超高精度光學表面成像領域的全球領導者。

我們在光學系統的數學建模和光學圖像處理方面擁有超過30年的經驗，在組裝計算機模型的開發、用于DUV和EUV光刻的高精度光學系統的調整和測試方面擁有30多年的經驗，對應用于測試具有廣泛參數的光學器件的點衍射波前進行了超過8年的研究。

我們開發、設計和制造了第一個商業化產品全球市場上可用的點衍射干涉儀。它結構緊湊，用戶友好型自動相移干涉儀D7用于測量光學系統的光學表面圖和透射波前的質量。

D7作為通用儀器，具有多種計量工具的優點：繪制表面圖形、揭示光學制造和組裝技術的特征和缺陷以及測試光學系統的圖像質量。所有這些功能都具有世界上最高的絕對精度 – 7 埃。

我們擁有一支活躍的團隊，致力于硬件和PDI測量的軟件設計。因此，D7可以很容易地定制，為滿足您的研究或行業需求。

我們是以客戶為導向的公司，我們了解每一個單個樣本可能非常獨特。我們集思廣益，尋找最好的此類獨特樣品的解決方案。因此，收集的經驗是不斷的在DifroMetric軟件中實現，并內置于我們的設備中。

上海昊量光電作為Difrotec在中國大陸地區最大的代理商，為您提供專業的選型以及技術服務。