激光干涉儀可以完成哪些測量？中圖儀器SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

產品功能

• 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
• 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
• 可實現對機床回轉軸的測量與校準；
• 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；
• 具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；
• 支持手動或自動進行環境補償。

測量應用

技術參數

產品型號：SJ6000
產品名稱：SJ6000激光干涉儀
穩頻方式：雙頻激光熱穩頻
穩頻精度：0.05ppm
線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）
角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M μm/m
測量分辨力：1nm
動態采集頻率：50KHz
預熱時間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環境溫度范圍：（0-40）℃，環境濕度：0-95%
主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便
生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司
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