IMU(Inertial Measurement Unit)即慣性測量單元,通常指的是采用各種慣性測量單元為核心部件的慣性導航系統,是測量物體三軸姿態角及加速度的裝置。一個 IMU 通常包含三個軸向的陀螺儀和三個軸向的加速度計,分別測量物體在三維空間中的角速率和加速度。

圖:IMU 工作原理示意圖
IMU 是人形機器人保持平衡及運動控制的關鍵傳感器,相當于人的小腦。IMU采集的角速度與加速度等慣性信息,以推算人形機器人的實時位置與運動軌跡,同時與機器人搭載的多傳感器融合,在數據類型和數據頻率間實現互補,從而幫助機器人了解自己在空間中的姿態和運動狀態,幫助機器人維穩身體姿態,提供動態規劃路徑和避開障礙物的能力。

圖:IMU的應用與發展 源自:原極科技官網
IMU通常會被布置于機器人的胯下或者胸腔部位,其主要作用在于測量整個機器人行動過程中,上半身的姿態。對上半身姿態的感知,直接影響到人形機器人的站立穩定性、行走直線度、原地轉彎、以及停止等動作的流暢迅速程度,讓機器人的動作看起來十分僵硬。
初始化時:IMU輸出姿態,配合質心使機器人站立。
行走過程中:IMU反饋姿態數據,保證機器人按照路線行走,并不踩腳。
IMU協同控制模塊:根據航向角其他數據進行原地轉彎,并且不偏移。
當機器人需要緊急制動,或者工作需要停止時能夠立即站立。

圖:IMU在人形機器人中的應用 源自:原極科技官網
MEMS技術是一種制造微小機械設備的技術,MEMS IMU結合了多種傳感器的功能,不僅體積小、功耗低,而且集成度高,非常適合用于人形機器人。
國際廠商如Honeywell、ADI、BOSCH等在MEMSIMU慣性傳感器市場上占據主導地位,隨著近年來機器人行業的快速發展,國內代表廠商有芯動聯科、華依科技、兆易科技、敏芯科技、原極科技等等。
下面,我們來看簡單盤點一下國內人形機器人IMU慣性傳感器供應商有哪些:
1、安徽芯動聯科微系統股份有限公司(688582)

官網:https://numems.com/
芯動聯科成立于2012年,專注高性能硅基 MEMS 慣性傳感器研發、測試與銷售,其 MEMS 傳感器芯片達導航級精度,為國產最優硅基 MEMS 慣性傳感器,廣泛應用于自動駕駛、商業航天、機器人等領域。
芯動聯科XDA1201V是一款高性能X軸MEMS加速度傳感器,支持±10g滿量程輸出。輸出加速度數據為24位二進制補碼格式,可通過SPI數字兼容接口訪問。XDV1201V可在復雜工況下實現精確的加速度測量,適合姿態測量、振動監測等應用。

△芯動聯科X軸MEMS加速度傳感器
2、上海華依科技集團股份有限公司(688071)

官網:https://www.w-ibeda.com/
華依科技成立于1998年,是專注于車規級 MEMS IMU 模組與組合導航系統的系統集成商。2025年5月,華依將汽車級傳感技術與機器人運動控制需求深度融合,創新推出面向人形機器人關節控制的高性能專用傳感器解決方案——ARU系列,為國產人形機器人提供高性價比的IMU。
華依科技ARU8010人形機器人專用姿態傳感器,采用定制化內核高性能傳感器,實現4000°/s超大動態范圍感知;具備1KHz高頻采樣結合自適應濾波算法,快速捕捉0.01°微姿態變化;創新360°全向位姿態結算技術,消除傳統傳感器的測量盲區。

△華依科技ARU8010人形機器人專用姿態傳感器
3、兆易創新科技集團股份有限公司 (603986)

官網:https://www.gigadevice.com.cn/
兆易創新成立于2005年,在人形機器人領域,兆易創新憑借多年在存儲、MCU微控制器、模擬產品等領域的技術積累,聚焦“高性能+高可靠性”,全面布局GD32 MCU、Flash、利基型DRAM等產品, 打造人形機器人核心控制系統一體化方案。
兆易創新基于Arm? Cortex?和RISC-V多核架構打造的GD32 MCU產品矩陣,構建了從基礎控制到高性能計算的完整解決方案。該系列產品憑借卓越的能效比和硬實時響應特性,為人形機器人系統提供全棧式支持:
主控系統:保障IMU/力覺/視覺傳感器融合的實時處理
擴展能力:通過豐富的外設接口滿足機器人多模態傳感需求

△IMU在人形機器人中的應用 源自:兆易創新官網
4、上海戴世智能科技有限公司

官網:https://www.daisch.com
戴世智能DAISCH創立于2015年,致力于向汽車、機器人和更廣泛的領域提供高性能高穩定性IMU、傳感器、慣性導航系統和數據處理軟件等產品。
戴世IM1R系列6 軸慣性測量模組,采用獨家創新的 CompactCube 設計,可實時輸出高動態采樣率和更新率的且經過全溫補償的加速度、角速度和姿態數據。廣泛應用于各類機器人、無人飛行器、工程機械和平臺穩定控制各行業。

△戴世IM1R系列6 軸慣性測量模組
5、蘇州敏芯微電子技術股份有限公司(688286)

官網:https://www.memsensing.com/
敏芯股份創立于2007年,擁有覆蓋MEMS聲學傳感器、壓力傳感器及慣性傳感器的完整產品矩陣,目前,敏芯股份前瞻布局AI眼鏡和人形機器人等領域產品的研發,持續拓寬市場邊界。
敏芯股份正布局于慣性傳感器IMU以實現人形機器人對姿態控制、平衡維持及導航定位的需求,同樣開發可應用于機器人的指關節、腕部、踝部、皮膚的傳感器,這些產品包括 MEMS 三維力傳感器、六維力/力矩傳感器、手套型壓力和溫度傳感器,以及機器人用 IMU 等。

△敏芯股份慣性傳感器
6、原極(上海)科技有限公司

官網:https://www.forsense.cn/
原極科技成立于2019年,專注于MEMS慣性傳感器及其組合導航系統的軟硬件產品研發與生產。主要產品包括IMU模組、姿態傳感器等,廣泛應用于人形機器人、工程機械、自動駕駛、無人飛行器等領域。
原極科技FSS-AHRS400是一款適用于人形機器人的IMU傳感器,陀螺儀零偏不穩定性僅2.5°/h,加表零偏不穩定性 25μg,具備高采集能力、自研姿態融合算法,具備抗干擾特性、低零偏以及高穩定輸出性能,極度適配人形機器人。

△原極科技FSS-AHRS400系列IMU傳感器
7、上海矽睿科技股份有限公司

官網:https://www.qstcorp.com/
上海矽睿成立于2012年,專注于高質量傳感器產品的設計、制造、以及增值應用與服務,公司產品包括多款MEMS傳感器,如六軸IMU、加速度計、環境傳感器、組合傳感器等,廣泛用于智慧手機、TWS耳機、無人機、機器人等。
矽睿QMI8A01系列六軸慣性測量單元,采用Open Cavity LGA封裝,有效提升產品的振動魯棒性,并且能降低板級應力以及環境溫度帶來的對零偏和靈敏度的影響。該系列的尺寸為3mm * 3.5m * 1.1mm, 陀螺儀的板級靈敏度誤差達±1%,加速度計的TCS達0.0025%/℃,適應惡劣環境的使用場景。

△矽睿QMI8A01系列六軸慣性測量單元
8、廣州導遠電子科技有限公司

官網:https://www.asensing.com/
導遠科技(ASENSING)成立于2014年,專注于時空感知領域的技術研發和產品開發,擁有傳感器芯片、IMU模組、GNSS模組等測量系統,產品廣泛應用于自動駕駛、機器人、無人測繪等眾多領域。
導遠IMU系列模組采用不銹鋼外殼,陀螺工作零偏僅0.07°/s,重量僅16g,擁有6DOF自由度,具備超小超輕、功耗低、環境適應性強等優勢,適用于各類苛刻的應用場景。

△導遠IMU系列模組
9、深圳市火豐精密儀器有限公司

官網:http://www.firepowertec.com/
火豐精密成立于2024年6月,致力于慣性測量、慣性導航產品的研發、生產及銷售,自主研發包括微納光纖陀螺系列,MEMS慣導系列、振動加速度傳感器等通信生產線,廣泛應用于無人車輛導航、船舶等定位、采煤機慣導等領域。
火豐精密IMU123MEMS 慣性測量單元,陀螺儀動態測量范圍為500°/s、零偏穩定性Allan方差僅1.8°/h,具有可靠性高、環境適應性強等特點,通過匹配不同的軟件,可廣泛應用于智能駕駛、移動通信、測繪等領域。

△火豐精密IMU123MEMS 慣性測量單元
10、杭州士蘭微電子股份有限公司(600460)

官網:https://www.silan.com.cn/
士蘭微電子成立于1997年9月,專注于集成電路芯片設計以及半導體微電子的生產,提供高性能多軸IMU模組等產品,面向工業AGV高動態路徑規劃及工程機械傾角監測,適配各類復雜作業環境。
士蘭微SC7I22系列6軸慣性傳感器,內置高性能三軸加速度計和三軸陀螺儀測量單元。加速度計量程范圍覆蓋±2g至±16g,陀螺儀角速度量程范圍覆蓋±125dps至±2000dps,且提供多種內部自動檢測,可在系統功耗極低的條件下有效可靠地實現運動檢測、姿態定位和手勢識別等功能。

△士蘭微SC7I22系列6軸慣性傳感器
11、蘇州明皜傳感科技股份有限公司(A06499)

官網:http://www.miramems.com/
明皜傳感成立于2013年,主要從事MEMS傳感器的研發、設計和生產,主要產品包括加速度傳感器、陀螺儀、壓力傳感器和磁傳感器,旨在為汽車電子、工業自動化、航空等領域提供所需的產品和集成方案。


△明皜傳感慣性傳感器產品參數
12、河北美泰電子科技有限公司

官網:https://www.mtmems.com/
美泰電子成立于2011年,是隸屬于中國電子科技集團的國有控股企業,自1995年起專注MEMS技術研發,推出我國首款實用化MEMS加速度傳感器,現已形成MEMS慣性器件與系統、MEMS傳感器、射頻MEMS器件三大類優勢產品,廣泛應用于汽車智駕,人形機器人,衛星互聯網等領域。

△美泰電子IMU慣性測量組合
13、北京星網宇達科技股份有限公司

官網:https://www.starneto.com/
星網宇達成立于2005年,致力于慣性技術開發與產業化,提供慣性傳感器和導航系統,其產品廣泛應用于無人系統、慣性導航設備以及人形機器人等領域。
星網宇達XW-IMU5100是一款高可靠的戰術級MEMS慣性測量單元,該產品尺寸48mm×46mm×22mm,重量僅為85g,且能夠適應彈載、機載等高動態環境條件要求;使用精度可覆蓋中低性能光纖慣性單元,在體積重量、功耗、硬件復雜度、系統成本方面具備顯著優勢。

△星網宇達XW-IMU5100慣性測量單元
14、深迪半導體(紹興)有限公司

官網:https://www.senodia.com/
深迪成立于2008年,其核心產品六軸 IMU(如 SH5001、SH3011 系列)集成三軸陀螺儀與加速度計,具備高精度、低功耗特性,支持光學防抖(OIS)、應力檢測等功能,已應用于智能手機、TWS 耳機、機器人等領域。
深迪IMU445模塊是一個完整的慣性系統,包含三軸陀螺儀,三軸加速度計,尺寸為24.1×37.7×10.8mm3,陀螺儀動態范圍為±250 dps,初始靈敏度達0.015 dps/LSB,靈敏度溫度系數僅±40 ppm/℃,適用于穩定平臺、車聯網和智能物流、工程機械、機器人等場景。

△深迪IMU 445慣性系統產品
15、美新半導體有限公司

官網:https://www.memsic.com/cn
美新半導體成立于1999年,是中國最早的IDM模式慣性傳感器供應商之一,擁有二十多年的MEMS傳感器研發及生產技術積累,擁有全球獨有的熱式加速度計、電容式加速度計、AMR地磁傳感器和六軸IMU等產品。
美新MIC6102AL六軸IMU,集成了3軸陀螺儀和3軸加速度計,LGA 2.5x3x0.83mm,擁有超大FIFO,數據輸出頻率最高可達2200Hz,可應用于游戲手柄、智能遙控器等體感互動系統、感應靈敏等的場景。

△美新MIC6102AL六軸IMU
16、無錫凌思科技有限公司

官網:https://www.lins-tech.com/
凌思科技成立于2017年,是一家專注于慣性導航傳感器技術研發和產品集成的高科技企業。公司產品涵蓋MEMS慣性芯片、MEMS慣性測量單元、光纖陀螺儀、IMU標定測試系統等,業務覆蓋機器人、無人機、衛星通信等領域。
MM-6322是凌思科技自主研發的一款貼片式高精度MEMS組合導航模塊,內置高精度MEMS IMU和高精度雙天線GNSS,采用多源融合卡爾曼濾波算法,可在復雜環境下提供連續可靠的高精度定位信息和姿態信息,廣泛應用于衛星通信、智能駕駛、室外作業機器人等領域。

△凌思科技MM-6322MEMS組合導航模塊
17、無錫北微傳感科技有限公司

官網:http://www.bwsensing.com.cn/
北微傳感成立于2010年,專注于慣性傳感器模組及上游器件的研發,產品包括北斗組合導航系統、慣性測量、航姿參考系統等,服務于機器人、自動駕駛、航天航空等領域5000余家客戶。
北微傳感IMU400C系列慣性傳感器,動態補償,正交補償,采樣頻率高達 500Hz,寬溫范圍為-40 ℃~+85 ℃,尺寸為L60×W59×H29mm,廣泛應用于無人船、水下機器人、工程機械等需平臺穩定的場景。

△北微傳感IMU400C系列慣性傳感器
融資信息:
2025年4月,北微傳感完成數千萬元B+輪融資,投資方尚未公布。此輪融資將進一步提升北微傳感在慣性傳感領域的技術研發與產業化能力。
18、上海華測導航技術股份有限公司(300627)

官網:https://www.huace.cn/
華測導航成立于2003年9月,致力于北斗高精度衛星導航定位技術的研發、生產與銷售。2023年,華測通過戰略投資機器人產業鏈企業,為切入人形機器人賽道提供工程化經驗,盡管尚未直接推出人形機器人產品,但其核心技術在SLAM、實時路徑規劃等環節的通用性,使其成為產業鏈關鍵環節的潛在供應商。
華測CI-710 高性能6自由度MEMS IMU,可提供三軸角速率、三軸加速度、橫滾/俯仰姿態以及溫度信息數據,具備高精度(零偏不穩定性0.5°/h)、高量程(±2000°/s可選)、高采用頻率(最高1000Hz輸出)、抗沖擊(2000g,0.5ms半正弦)多種特性。

△華測CI-710 高性能6自由度MEMS IMU
19、北京中科航芯科技有限責任公司

官網:https://zkhx.114ic.com/
中科航芯成立于2021年5月,是中科院的科技成果孵化企業,擁有國內外核心發明專利40余項。公司主要產品包含核心慣性器件、慣性導航系統、星載慣性組合系統、耐高溫慣性組合單元等,廣泛應用于深空探測、商業航天、能源勘探、地震檢波等領域。
融資信息:
2025年4月,中科航芯完成數千萬元A+輪融資,本輪融資主要用于CRG3數字控制及自校準技術研究等,加速了高端慣性傳感器國產替代。
20、重慶天箭慣性科技股份有限公司

官網:https://www.tjian.com.cn/
天箭慣性成立于1997年,迄今已有20余年的發展歷史,公司生產的慣性導航系統、光電控制系統、導航制導控制(GNC)系統,已廣泛應用于導彈制導控制、無人機飛行控制、工業機器人等領域。
天箭MEMS 加速度計是一款全國產化的硅基MEMS 慣性傳感器,具有噪聲小、穩定性高、重復性好、非線性小、溫度漂移小、抗振動等特點,且內部含溫度傳感器,支持片內溫度補償。適用于航空航天、無人系統、工業機器人等領域。

△天箭MEMS 加速度計
21、嘉興市納杰微電子技術有限公司

官網:http://www.jxnajie.com/
納杰微成立于2012年1月,主要從事MEMS芯片的設計、制造、封測業務,擁有慣性導航系統、加速度計、陀螺儀,MEMS微鏡和生物醫學等MEMS產品。
納杰微A0010陀螺轉角儀,是基于MEMS慣性傳感元件的測算系統,可在任意運動狀態下精確輸出載體的航向角以及其它輔助傳感信號(加速度、溫度等),具有單航向角、陀螺且含加三軸速度計信號輸出。可被廣泛應用于AGV小車、航海、無人機、機器人、等場合。

△納杰微A0010陀螺轉角儀
22、蘇州億波達微系統技術有限公司

官網:https://enbroad.com.cn/
億波達成立于2021年,是一家專注于MEMS傳感器設計、制造、封測為一體的創新企業,主要產品包括MEMS慣性傳感器、模組、系統集成等,廣泛應用于汽車、能源、工業機器人、通訊、航空航天及物聯網等領域。
億波達EMU170系列傳感器,專為人形機器人設計,頻率可達500HZ,穩定精確,能夠提供精確的實時姿態變化和調整,使得機器人在復雜環境中=精確得執行動作,更好地適應各種地形和任務。

△納杰微A0010陀螺轉角儀
23、復遠芯(上海)科技有限公司

官網:http://www.roadix-group.com/
復遠芯成立于2023年1月,聚焦姿態測量、慣性導航以及智能控制等方向,提供多種規格的具有高性價比、高可靠性、長壽命的MEMS芯片、傳感器及智能系統等產品,包括陀螺儀、加速度計、慣性測量單元IMU、組合慣導系統等,廣泛應用于自動駕駛、機器人、醫療健康、工業自動化等領域。


△復遠芯超智慣性測量單元
24、上海朗尚傳感技術有限公司

官網:http://www.51sensor.com/
朗尚傳感成立于2003年,在傳感器研發及應用方面積累了豐富的經驗。主要產品有望遠鏡測距儀、激光雷達系統、慣性傳感器IMU、航姿參考系統AHRS等,在機器人、機器振動監測分析、輔助導航和自動駕駛等行業有廣泛的應用。
朗尚SCHA634系列6軸IMU,阿倫方差低至0.9°/h,陀螺儀RMS噪聲級別低于0.007°/s,具備優異的防震穩定性,可應用于多領域的自我檢測功能,可應用于在嚴苛環境條件下追求高性能表現的應用場景。

△朗尚SCHA634系列6軸IMU
25、北京易感芯科技有限公司

官網:http://www.sensimems.com/sy
易感芯成立于2022年,是國內少數能夠實現MEMS慣性器件設計、制造、封裝、測試全流程國產化自主的企業,其產品包括加速度計、陀螺儀、IMU,廣泛應用于汽車、工業、智能制造、通信、物聯網以及航空航天等。
易感芯高性能單軸MEMS加速度傳感器產品系列,基于高可靠性、耐沖擊、高靈敏度、低噪聲的MEMS器件結構,提供從±2g、±16g、±30g、±50g多種量程選擇,支持SPI和I2C兩種輸出協議,內置溫度傳感器,24bits高精度ADC,可實現芯片級溫度補償。

△易感芯高性能單軸MEMS加速度傳感器
審核編輯 黃宇
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