9月24日，為期三天的2025第十八屆國際真空展覽會在上海世博展覽館盛大開幕。全球領先的一站式密封檢測解決方案服務商海瑞思盛裝亮相H4號館A54-55展位，重點展出了氦質譜、RGA等高精尖設備，為真空技術在半導體、光伏、航天等領域的應用提供了創新解決方案，成為展會現場備受矚目的焦點。

核心產品矩陣，引領行業技術革新

本次參展，海瑞思以“突破技術邊界，引領精度革新”為主題，集中展示核心產品矩陣，覆蓋從微漏檢測到氣體分析的全場景需求：

HM-100 殘余氣體分析儀↑

高分辨率：<1amu

檢測能力強：最小可檢分壓3*10-14Torr

寬質量數范圍：1-100amu,可識別H2、He、H2O、N2、O2、CO2等關鍵氣體

HM-200在線質譜分析儀↑

采用RGA技術，自帶觸摸顯示屏，操控精準。以其高分辨率和高精度著稱，能夠全面分析真空系統中的殘余氣體成分，助力提升工藝質量與產品良率。

HM-400氦質譜分析儀↑

以高精度著稱，最小可檢漏率5*10-13Pa·m3/s; 正壓負壓皆可檢，全面覆蓋需求; 推車式結構輕便高效，適用各類生產環境; 模塊化緊湊設計，易于系統集成，適用于各種自動化裝配線。

HV-100 VOCs檢測儀↑

傳感器精度≤2%F.S，最大分辨率1ppb，秒級響應；支持多種測試氣體和應用場景；小巧便捷，輕松操作；自動儲存，支持數據溯源。

專業觀眾云集，現場反響熱烈

開展首日，海瑞思展臺便吸引了專家院士、技術人才及大量專業觀眾駐足咨詢。來自海內外多家知名企業的技術專家對海瑞思的產品表現出濃厚興趣，雙方就技術細節和應用場景進行了深入交流。

“海瑞思儀器檢測精度和穩定性已經達到了國際領先水平，性能卓越，是國產替代的理想之選。”某半導體制造企業的工程師現場表示。”

助力高端智造，提供定制化解決方案

展會期間，專業團隊全天候駐守展位，針對“微漏難定位”“良率波動”“檢測效率低”等行業痛點，提供一對一案例剖析與定制化方案設計，更有設備實操演示與技術答疑環節。

資深工程師現場介紹，海瑞思的氦質譜、RGA等高端檢測設備能提供全方位的真空環境監測與分析解決方案。針對半導體行業特殊需求開發的定制化解決方案，能夠無縫集成到現有的半導體制造設備中，實現真空環境的實時監控和智能管理，為芯片制造、封裝測試等環節提供可靠保障。

展望未來，共話真空技術新機遇

隨著半導體技術向更小制程、更高集成度發展，真空技術的重要性將日益凸顯。海瑞思將繼續加大研發投入，推動技術創新，為客戶提供更先進、更可靠的密封檢測解決方案。

本次展會于9月24-26日舉行，為期三天。誠邀各位行業同仁蒞臨海瑞思展臺（展位號：H4館 A54-55），共同交流并探索真空技術的新機遇。