襯底量測電流從最大值，變小至無或極小值

▲圖3

在周期性脈沖作用下可測得飽和泵電流Icpmax，飽和泵電流Icpmax的表達式如下：

Icpmax=qAGfDit

在上式中：f為脈沖頻率;AG為溝道有效面積，是溝道源漏區摻雜狀態的函數；q為電子電荷；Dit為溝道平均界面態密度。

其中前三項均為已知量，因此，通過測試電荷泵電流Icpmax就可以得到界面態密度Dit這個反應溝道微觀性質的參數。而界面態是氧化層和襯底體硅因為晶格失配或缺陷導致的非理想的結合狀態，對器件溝道載流子的運動有影響，限制載流子遷移率的提高，降低器件驅動電流的能力。

以下展示兩個電荷泵（Charge Pumping）測試應用在工藝開發和可靠性測試中應用的示例。

1用電荷泵測試對比柵極氧化層工藝的不同

2.用電荷泵測試表征PMOS器件在負偏壓不穩定性NBTI加壓條件下的界面態退化

特別聲明，以上提供的測試服務均是季豐自有設備和能力進行的測試。具體機臺型號性能參數信息參見點擊文末相關鏈接的推文查看。

最后，再次歡迎新老客戶提問咨詢、下單測試。季豐電子愿竭誠為您服務，提供您所需的各種助力。

季豐電子

季豐電子成立于2008年，是一家聚焦半導體領域，深耕集成電路檢測相關的軟硬件研發及技術服務的賦能型平臺科技公司。公司業務分為四大板塊，分別為基礎實驗室、軟硬件開發、測試封裝和儀器設備，可為芯片設計、晶圓制造、封裝測試、材料裝備等半導體產業鏈和新能源領域公司提供一站式的檢測分析解決方案。

季豐電子通過國家級專精特新“小巨人”、國家高新技術企業、上海市“科技小巨人”、上海市企業技術中心、研發機構、公共服務平臺等企業資質認定，通過了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ISO45001、ANSI/ESD S20.20等認證。公司員工超1000人，總部位于上海，在浙江、北京、深圳、成都等地設有子公司。